滨松中国携革命性产品—LDLS光源亮相NEPCON上海展

2019-04-17来源: EEWORLD关键字:滨松  LDLS

传统弧光灯(氙灯、氘灯等)使用电极驱动,限制了亮度、寿命和稳定性等性能,激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS)采用无电极结构,利用激光驱动氙灯产生的高温等离子体,保证输出光束具有超宽光谱(1700 nm ~ 2100 nm)、超高亮度、超长寿命(> 9000 h)和超高稳定性,而且LDLS在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上,非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域;另外,因为LDLS具有出色的光谱覆盖性、寿命、亮度,所以LDLS非常适合那些目前在使用传统弧光灯,但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的客户。推荐应用领域:半导体行业、光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。如对LDLS产品感兴趣,欢迎来滨松光子学商贸(中国)有限公司(NEPCON China展位号:1K10)展台参观LDLS展品。

 

滨松光子学商贸(中国)有限公司是日本滨松光子学株式会社在中国的在中国的销售、技术支持、售后服务等市场活动中心。1953年成立的滨松,是光科学、光产业领域的知名品牌。产品被广泛的应用在分析仪器、医疗设备、核技术应用、科学研究、安全检查、民用消费电子等产业。

 

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由滨松中国带来的革命性产品——LDLS光源,将在今年4月24-26日上海世博展览馆举办的NEPCON China舞台上重磅亮相。LDLS综合了卤素灯、氘灯、氙灯等光源性能特点,能广泛应用于半导体检测与度量(inspection & metrolgoy)、生命科学与材料科学、前沿学术研究、光学传感器检测(含3C)和光学组件(如filter)检测等领域。

 

LDLS具有极高的亮度、超宽光谱(从170nm到2100nm)、极高稳定性及超长寿命的特点。相较于传统光源在应用中更具优势。其工作原理是:激光经过透镜汇聚后,被用于维持LDLS内灯泡通过高压放电产生的等离子体,从而输出高亮度、长寿命、宽光谱、稳定的光。

 

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图为:LDLS光源

 

 

 

 


关键字:滨松  LDLS

编辑:muyan 引用地址:http://news.eeworld.com.cn/IoT/ic458930.html
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