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Unity-SC可在砷化镓基板上检测非散射性潜在致命缺陷

2019-07-19来源: 美通社关键字:Unity-SC  GaAs

与VCSE市场中的一家重要公司进行合作,Unity-SC能够通过分别出只有利用LIGHTsEE PSD(TM)才能让缺陷可见的晶圆,来提升前者的良率。

与VCSE市场中的一家重要公司进行合作,Unity-SC能够通过分别出只有利用LIGHTsEE PSD™才能让缺陷可见的晶圆,来提升前者的良率。

如果不能被检测出来,那么这些缺陷能够导致在流程后期/系统交付后出现故障。

法国格勒诺布尔2019年7月18日 /美通社/ -- 过去十年来,由于具有独一无二的光学和电气特性,并且具备生产线上测试和可制造性上面的高度优势,VCSEL(垂直腔面发射激光器)在众多领域吸引了越来越多的关注。大部分VCSEL基于红光到红外波长的砷化镓晶圆,如今被广泛地用于激光雷达和3D识别技术。由于汽车领域的应用,激光雷达市场现在迅速发展,对不会出现故障的设备的需求也同步迅速增长。3D传感也带来了一个非常大的市场,智能手机制造商现在为进行人脸识别而嵌入此类传感器。因此,对高品质、高可靠性的砷化镓检测系统的需求一直都在增长。

除了常见的扫描表面检查系统(SSIS)和自动光学检测(AOI)系统以外,UnitySC还展现了其在检测其它方法所无法看见的表面形貌缺陷方面的独特能力。由于不会对光进行散射/吸收,而且只能通过其表面形貌情况来予以识别,这些缺陷在标准光学检测系统中不可见。虽然这些缺陷对基板本身的结构质量影响不大,但是它们却能导致在流程后期让设备出现故障。例如,在生产布拉格(Bragg)光栅反射器期间,这些表面形貌上面的缺陷能够让布拉格周期出错,在某些特定情况下,还会出现应力诱导裂纹。这些故障会在制造过程中或是系统交付后遇热/遇压时出现,导致整个系统出现故障。

借助被嵌入LIGHTsEE™系列中的Phase Shift Deflectometry(相移测量偏折术,简称“PSD”)技术,这些缺陷能够被轻松地检测出来。PSD能够提供高度灵敏度低于5纳米的整片非接触式高吞吐量解决方案。由于无需移动基板就能进行检测,新技术不会产生应力,而且适用于任何脆弱的基板。

这种技术在一位主要VCSEL制造商上面进行了展示,并能通过系统性地抑制由此类缺陷所影响的裸片问题,展现出良率的提升和设备故障率的降低。因此,通过在未来的质量控制中使用PSD,VCSEL制造商就能进一步提升他们的良率,改进他们的供应链。

关键字:Unity-SC  GaAs

编辑:冀凯 引用地址:http://news.eeworld.com.cn/manufacture/ic468543.html
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