佳能纪念日本首台半导体光刻机PPC-1问世50周年

2020-01-16来源: EEWORLD关键字:佳能

如果说半导体是整个信息产业的皇冠的话,那么光刻机就是皇冠上那颗最璀璨的钻石,没有光刻机,就没有如今蓬勃发展的半导体产业。

日前,光刻机主要供应商之一的佳能,举办了首台日本产光刻机诞生50周年纪念活动,佳能光学设备(上海)有限公司董事长兼总经理牧野晶、佳能光学设备(上海)有限公司副总经理五十岚文生及佳能光学设备(上海)有限公司销售二部销售二处处长毛小敏出席了此次纪念发布会。

半导体器件被广泛应用于从智能手机到汽车等各个领域,在其制造过程中半导体光刻机必不可少。随着数字技术的迅速发展,佳能的半导体光刻机也在不断升级。


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回顾佳能光刻机发展历程

佳能光刻机的历史始于对相机镜头技术的高度应用。灵活运用20世纪60年代中期在相机镜头开发中积累的技术,佳能研发出了用于光掩膜制造的高分辨率镜头。此后,为了进一步扩大业务范围,佳能开始了半导体光刻机的研发,并于1970年成功发售日本首台半导体光刻机「PPC-1」,正式进入半导体光刻机领域。根据五十岚文生介绍,PPC就是Projection Printer Camera的缩写,之前并没有lithography的说法。

50年来,佳能光刻机业务取得了众多里程碑式的进展。

佳能于1975年发售的「FPA-141F」光刻机在世界上首次实现了1微米以下的曝光,此项技术作为“重要科学技术历史资料(未来技术遗产)”,于2010年被日本国立科学博物馆产业技术历史资料信息中心收录。

目前佳能的光刻机阵容包括i线光刻机和KrF光刻机产品线,并根据时代的需求在不断扩大应用范围,这也都是随着线宽需求不断改进。2001年,佳能推出12英寸的光刻设备,今后,佳能将继续扩充半导体光刻机的产品阵容和可选功能,以支持各种尺寸和材料的晶圆以及下一代封装工艺。此外,在尖端领域为满足电路图案进一步微细化的需求,佳能也在致力于推进纳米压印半导体制造设备的研发,并使之能应用于大规模生产,2017年成功推出。

除了半导体领域,自1986年起,佳能将半导体光刻机技术应用于平板显示器制造领域,开始开发、制造和销售平板显示曝光设备。2018年,佳能推出适用于第八代面板的光刻设备。今后佳能也将继续致力于提高清晰度和生产效率,以满足液晶和OLED显示设备制造的需求。

截至目前,佳能已累计出货5600余台光刻设备,覆盖众多领域,尤其是在步进光刻机细分市场,佳能有超过80%的市场份额,受到了中国客户的喜爱。

光刻机如何超越摩尔定律

如今,似乎光刻机已成为组织摩尔定律前进的主要障碍之一,五十岚文生表示,目前佳能的技术演进路线分为两方面,一方面是继续追随摩尔定律,不断在高端制程上开发,另外则是在多样化方向发展。五十岚文生说道,物联网对半导体需求多样化,除了CPU,传感器,电源控制类器件需求不断增加,所以佳能也在针对各细分市场推出不同的产品组合。“我们是根据应用特殊的要求,细分开发各种不同设备,比如包括存储/逻辑,摄像头/传感器,IoT/汽车/射频/电源以及后道,佳能都进行了产品细分。”五十岚文生说。

目前针对第三代半导体,由于尺寸限制,因此佳能改造了90年代的8寸设备,推出了对应的3030产品,适合非硅基板的应用。

五十岚文生指出,同样的事情也发生在液晶市场,佳能也不断推出各类细分新品,满足电视等大屏幕的需求,同时也满足手机等对于分辨率的要求,以及未来包括OLED等新兴市场的应用。

和中国半导体产业共成长

牧野晶表示,随着中国对半导体产业的重视,对半导体设备和材料的需求不断增加,对佳能来说,是个非常有魅力的市场。

目前,佳能光刻机在日本生产,但是在中国拥有众多办事处,为得就是提供更好的服务,从而更贴近客户,据介绍佳能所有半导体光刻设备都可以面向中国客户销售,不存在限售令等。

牧野晶说道,中国目前的市场需求呈现着多元化,发展潜力极大,如何满足中国客户的需求,是未来事业成败的关键。“我们会认真倾听客户的要求,和总部研发紧密合作,尽量从佳能角度为客户提出解决办法。截至目前,中国市场的新需求佳能都可以满足。”

目前,佳能光刻机在华销售情况,在半导体设备市场是中资企业和外资企业各50%,在液晶面板领域,中资厂商占比达到了70%以上,这也是佳能深耕中国,与中国本土客户共发展的最好体现。

牧野晶表示,相信中国政府对发展半导体产业的决心与信心,也相信中国设计业的能力,但面对集成电路的飞速发展,人才储备有可能成为中国半导体未来面临的重大问题。

牧野晶说道,2019年半导体市场确实有所下滑,佳能光刻机的销售额也产生了下滑,但是从未来长远来看,形式依然非常乐观。对此,佳能将努力提供最优质的服务,帮客户最大化价值,今后将继续提升光刻设备技术,为社会发展做出贡献。

关键字:佳能 编辑:冀凯 引用地址:http://news.eeworld.com.cn/manufacture/ic485917.html 本网站转载的所有的文章、图片、音频视频文件等资料的版权归版权所有人所有,本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如果本网所选内容的文章作者及编辑认为其作品不宜公开自由传播,或不应无偿使用,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。

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