台积电首创干式EUV光罩洁净技术,累计节省4.7亿元

2020-08-02来源: 爱集微关键字:台积电

据台媒报道,台积电导入干式极紫外光(EUV)光罩洁净技术,提升能源与资源使用效率,累计创造改善效益达新台币20亿元(约合人民币4.76亿元)。

台积电创新研发的干式EUV光罩洁净技术从2018年开始导入试产,2019年开始进一步发展干式EUV光罩洁净技术自动化,已于今年1月全面导入12英寸晶圆厂区量产。

据了解,台积电创新研发干式EUV光罩洁净技术,通过干式技术快速去除落尘,取代需要使用纯水与化学品的湿式清洁手法;同时以次纳米级分析技术精准定位落尘来源,从根本排除污染源,至2020年成功使落尘削减率超过99%,导入试产迄今累计节水量约735公吨,降低化学品使用量约36公吨。

另外,干式洁净技术导入后大幅缩短光罩保修频率与时间,使光罩使用率跃升超过80%,并延长先进制程EUV光罩寿命,累计创造的改善效益达20亿元。


关键字:台积电 编辑:北极风 引用地址:http://news.eeworld.com.cn/xfdz/ic504998.html 本网站转载的所有的文章、图片、音频视频文件等资料的版权归版权所有人所有,本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如果本网所选内容的文章作者及编辑认为其作品不宜公开自由传播,或不应无偿使用,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。

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