瑞声科技聚焦于MEMS麦克风领域

最新更新时间:2021-09-10来源: 爱集微关键字:瑞声科技 手机看文章 扫描二维码
随时随地手机看文章

近年来瑞声科技以MEMS麦克风为切入点进入半导体领域,通过多年的技术积累,掌握了从芯片设计到封装测试的全流程核心技术。并推出了国内首款完全自主知识产权的MEMS麦克风产品。

现有技术的MEMS麦克风在基座上间隔设置有振膜,在振膜上方再间隔内腔设置有背板。振膜和背板相互平行,构成了平板电容系统。当声波气流进入背板和振膜之间的内腔时,声压作用于振膜引起振膜运动,这种运动改变薄膜与背板之间的距离,进而改变电容并最终转化为电信号,最终实现麦克风的相应功能。然而,由于振膜与背板间的内腔较小,空气在振膜与背板之间流动时存在压膜阻尼,对MEMS芯片的动态响应影响很大,阻尼越大,则机械噪声越大。

为此,瑞声科技于2020年7月6日申请了一项名为“一种MEMS麦克风”的发明专利(申请号: 202010642539.2),申请人为瑞声科技(南京)有限公司。

图1 MEMS麦克风剖面图

图1为本发明提出的MEMS麦克风的剖面图,包括具有背腔11的基座1和依次设置于基座表面上的振膜2、背板4。其中背板包括固定部46即背板的边缘,还包括由固定部围绕并与之连接的间隔设置的主体部45。背板与振膜之间的第一绝缘层6把它们隔离开,固定部与第一绝缘层固定连接。

振膜与基座之间有第二绝缘层21,能够将振膜与基座隔离开,第一绝缘层部分覆盖第二绝缘层。振膜的边缘通过第二绝缘层与基座相连接,而未与第二绝缘层固定连接的位置都可以进行自由振动,也就是说振膜的中心区域可以自由振动,保持其振动效果。第二绝缘层使振膜与基座间隔形成间隙,增大了振膜振动的位移空间。背板与振膜之间形成内腔3,内腔中存在电容。当振膜振动时,就会改变内腔在垂直于振膜方向的高度,进而改变内腔的电容值,电容的变化转化为数字信号,最终实现麦克风的功能。

在主体部靠近固定部并且与其外周缘间隔设置的位置,有朝远离振膜方向隆起的第一凸起部41,在内腔中对应的位置具有较高的高度,从而增大在第一凸起部处背板与振膜的距离。当声波气流通过声学孔42进入内腔中,边缘处气流可以进入第一凸起部下方,使得内腔中的空气不产生压缩,进而减小压膜阻尼,减少MEMS麦克风的机械噪声。

背腔的截面为倒等腰梯形,其内具有大气压强,当振膜振动后背腔内的压力不变,保持振膜的自由振动。第一凸起部的截面为类似的等腰三角形,使用类似的太阳帽或等腰三角形的结构,可以增强其结构强度,不容易变形。

简而言之,瑞声科技的MEMS麦克风专利,通过设置至少一个朝远离振膜方向隆起的凸起部,使得对应的内腔的空气流速小于内腔内气流的平均流速,进而降低内腔中的压膜阻尼,降低MEMS芯片的机械噪声。

瑞声科技是全球精密制造龙头企业,为移动终端、智能家居、智能穿戴等设备提供软硬件高度结合的技术解决方案。瑞声科技现已发展成为全球最重要的MEMS麦克风器件及模组供应商之一,是中国半导体MEMS十强企业。


关键字:瑞声科技 编辑:北极风 引用地址:http://news.eeworld.com.cn/xfdz/ic547518.html

上一篇:vivo首款自研影像芯片V1公布
下一篇:湖北三安光电:已进入正常生产状态,加大对客户的供货

推荐阅读

科技和中芯集成达成战略合作,将聚焦MEMS麦克风领域
8月14日,瑞声科技发布公告称,已于近日与中芯集成签署了进一步加深战略合作的协议,双方将聚焦MEMS麦克风领域,在技术研发、产品创新、生产制造全流程,以及国产供应链完善,产业生态建设等方面进行全方位合作。这是双方继2018年首次签署合作协议后,进一步达成的深化战略合作,标志着瑞声科技正式实现芯片自主化、国产化,是企业发展的一个重要里程碑。公开资料显示,瑞声科技成立于1993年,是全球精密制造龙头企业,为移动终端、智能家居、智能穿戴等设备提供软硬件高度结合的技术解决方案,三次获得工信部认定的制造业单项冠军示范企业称号。2003年,瑞声科技以MEMS麦克风为切入点进入半导体领域,通过多年的技术积累,掌握了从芯片设计到封装测试的全流程
发表于 2021-08-16
科技/弘信电子供应商英诺激光上市:股价涨380%
领域,其绿光及紫外波长中高功率纳秒激光器及皮秒激光器可实现对3D玻璃盖板、摄像头蓝宝石的切割及金属结构框架和屏幕钻孔;低功率纳秒激光器可在绿光和紫外波段完成金属及非金属材料表面打标。目前其已为瑞声科技、蓝思科技、弘信电子等客户提供了一系列可用于柔性材料、脆性材料、半导体精密加工的定制激光模组。业绩方面,2017-2019年,其营收分别为2.49亿元、2.91亿元和3.59亿元,最近三年复合增长率为19.28%。净利润分别为0.43亿元、0.62亿元和0.72亿元,均呈逐年增长态势。细分产品来看,激光器销售收入占主营业务收入的比例分别为67.91%、69.28%和63.32%,是其主要收入来源。其中,以纳秒固体激光器产品为主,占激光器
发表于 2021-07-07
<font color='red'>瑞</font><font color='red'>声</font><font color='red'>科技</font>/弘信电子供应商英诺激光上市:股价涨380%
科技投资固态激光雷达领导者Ibeo,提升LiDAR制造能力
全球领先的微型技术解决方案提供商——瑞声科技控股有限公司(“瑞声科技”)宣布,已完成对Ibeo Automotive Systems GmbH(“Ibeo”)的股权投资(“交易”)。双方同时建立了战略合作关系,瑞声科技在光学和成像方面的专业技术,将融入Ibeo新一代产品的开发,以进一步提升和完善Ibeo的制造能力和供应链平台。交易完成后,瑞声科技将携手ZF Friedrichshafen AG(采埃孚股份公司)和Ibeo创始人成为Ibeo的战略股东。 Ibeo是LiDAR(激光雷达)系统的技术领航者。其新的ibeoNEXT通用固态LiDAR,结合了真正的固态技术(新一代LiDAR系统)和具有竞争力的价格,满足了汽车行业
发表于 2021-06-18
科技子公司诚光学拟A股IPO 小米等厂商战略入股
 近日,据江苏监管局披露其辖区企业辅导备案信息公示显示,诚瑞光学(常州)股份有限公司(以下简称:诚瑞光学)拟A股IPO,其保荐机构为中金公司,已于2月1日进行上市辅导备案。资料显示,诚瑞光学成立于2008年12月,是瑞声科技的子公司。该公司是一家智能设备解决方案提供商,以提升用户体验及客户满意度为出发点,以仿真技术为基础,利用强大的研发团队与先进的制造技术,结合大数据管理,持续为移动终端、机器人、无人驾驶汽车等智能设备提供硬件、软件高度结合的技术解决方案。2020年7月22日,诚瑞光学引入小米长江产业基金、OPPO战略投资部、惠友投资、江苏华睿投资四名首轮战略投资者,合计增资了11.5亿元,于2020年9月27日,诚瑞
发表于 2021-03-04
<font color='red'>瑞</font><font color='red'>声</font><font color='red'>科技</font>子公司诚<font color='red'>瑞</font>光学拟A股IPO 小米等厂商战略入股
揭秘全球独有WLG镜头!科技将引领5G时代手机影像变革
2月23日上午,世界移动通讯大会(MWC2021)在上海新国际博览中心正式开幕。在本届展会上,瑞声科技(AAC)带来了数十项最新的产品和解决方案,覆盖声学、光学、电磁传动和5G射频等领域。其中,最引人关注的莫过于瑞声科技的光学解决方案。作为全球唯一掌握晶圆级玻璃技术的公司,瑞声科技首次对外曝光了一组使用WLG玻塑混合镜头所拍摄的外景照片。产品特性:AAC的WLG Hybrid镜头以其优越的解析力,完美展现了驯鹿毛皮的细节,捕捉驯鹿之美。产品特性:AAC的WLGHybrid镜头具有极强的热稳定性,可在各种条件下保持出色的成像和聚焦性能。寒冷的冬日中,也能让观看者感受到篝火的热量。产品特性:AAC的 WLG Hybrid镜头能够在寒冷
发表于 2021-02-25

推荐帖子

求助
视频中为什么只有最后一项“lab4:定时器和中断”点击有效。其他课程也这样,不知道怎么回事?求解求助
jacksunny 微控制器 MCU
[液位传感器测评] 电容-非接触式液位传感器检测
电容-非接触式液位传感器是一款以高低电平输出来指示液位状态的传感器,也就是说它可以作为一种液位开关来使用。 该传感器的应用电路如图1所示,相应的输出性能如图2所示。 其中,红线为电源VCC端,接5V电源;蓝线为电源GND端,接电源地;黄色则为状态信号输出端。 图1应用电路 图2输出性能 为此,我们可以构建图3所示的测试连接,其设计思路是:利用开发板的电源引脚来提供测试的电源支持,并将LED模块的输入引脚连接到传感器的输
jinglixixi 传感器
金卤灯电子镇流器的新型控制方法
现今,高强度气体放电灯由于它的发光效率高、色温好、寿命长等优点,已经被广泛地应用于广场、道路照明等场合。而其中的金属卤化物灯由于拥有诸多优点更被认为是最好的人造光源之一。但是,由于金卤灯的负阻特性和特殊的启动要求,必须和与之相匹配的镇流器共同使用。对比于传统的电感式镇流器,电子镇流器有着许多优点,对它的研究和开发也是电力电子行业的一大热点。   为了确保金卤灯不出现声谐振,电子镇流器一般工作于低频方波状态。传统的低频方波电子镇流器包
qwqwqw2088 电源技术
STM8触摸库程序跑飞
我按照汉之云的资料修改了stm8s_map.h,文件又重新配库的.h文件,因为我用STM8S103K,编译通过,我用STLINK调的时发现程序跑飞然后,请大家看看,STM8到底行不行啊,还有我共20键,我用STLINK关察那个初始化数组始终显示9个,闷 下载(183.44KB) 2009-10-3014:52 STM8触摸库程序跑飞
maq9627 stm32/stm8
二极管作为三极管的温度补偿电路
二极管作为三极管的温度补偿电路 二极管和三极管都是硅材质。随着温度T升高,三极管Vbe降低,ib=VCC-Vbe/R7+R5ib增大,为了使ib减小,Vb得降低???Vb降低靠二极管正向压降降低实现。这样实现了温度补偿。这里有几个疑问 1.ib和Vb有何关联呢?ib=(Vb-Ve/Rb)=Vbe/Rb? 2.这里Rb是多少呢? 3.如果没有二极管会有怎样的影响? 4.要使三极管工作在线性放大的状态,是不是ib、VCE不能变为恒定值?还有其他的参数是恒定的吗? 5.在什么
QWE4562009 模拟电子
求助,咨询arm7专利过期了没有,国内有这便宜的MCU卖吗 (论坛 的 “单片机”
求助,咨询arm7专利过期了没有,国内有这便宜的MCU卖吗(论坛的“单片机”没有“其他MCU”的栏目,就挂“51”里面了) 论坛版主可以整体上介绍下目前我国各个厂商,特别是小公司,对ARM7的开发吗. 我的文章比较简单,片面。 我猜测ARM7过了专利期,要便宜很多。会比Cortex-M3处理器便宜很多吗?百度后少量信息。没有说明价格。 因为以前我买过一本arm7的30元的纸质书ARM7TDM
ppiicc 51单片机
小广播
换一换 更多 相关热搜器件
电子工程世界版权所有 京B2-20211791 京ICP备10001474号-1 电信业务审批[2006]字第258号函 京公网安备 11010802033920号 Copyright © 2005-2021 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved