上海微电子：为泛半导体产业领域提供高端智能装备

    东方网记者叶页6月19日报道：2015年7月，为贯彻落实全球科创中心建设，上海发布了《上海市高端智能装备首台突破和示范应用专项支持实施细则》。政策实施2年多来，共立2批72项“首台突破类”项目，共计支持金额3.49亿元，形成合同金额59.78亿元。为此，开发和量产以高端光刻机为代表的各种智能装备，既具有较高的战略价值，又具有极高的经济价值。

　　在上海市政府新闻办举行的“每月一访”活动中，记者来到了上海微电子装备(集团)股份有限公司（以下简称SMEE）。SMEE成立于2002年3月，是多家企业集团和投资公司投资组建的高科技有限责任公司，公司被上海市政府列入上海张江高科技园区首批国有企业股权激励的试点单位，于2016年11月8日改制成为股份制公司。

　　东方网记者获悉，SMEE自“十一五”开始至今一直被国家确定为“02”科技重大专项高端扫描投影光刻机研制和先进封装光刻机产业化的承担单位,通过十几年的原始创新和集成创新，公司在光刻机核心与关键技术方面取得了重大突破，截止2017年5月公司申请专利2141项，其中申请发明专利1925项。产品总监周畅表示，SMEE形成了高端光刻类设备、激光应用类设备、光学检测类设备、特殊应用类设备四大系列产品发展规划。公司力争在2025年建成中国领先、全球先进的以光刻机及相关衍生产品为代表的高端智能装备集团，成为国家泛半导体产业领域高端智能装备的重要力量。

　　据悉，SMEE已形成了一支逾千人的年龄结构合理、学科门类齐全、专业技能扎实的光刻机设计、集成的优秀工程技术人才队伍以及与复杂系统研制和产品化、产业化相适应的经营管理团队，其中拥有国家千人计划专家、上海市科技领军人才、上海市技术学科带头人等重量级专业人才。创新团队先后荣获2012年度国家科技发明二等奖、2012年度第十四届中国国际工业博览会金奖、2016年度第十八届中国国际工业博览会金奖、中国专利优秀奖。创新团队还荣获2014年度全国专业技术人才先进集体。

　　随着时间推移，上海首台套政策必然会在更多诸如SMEE等企业中开花、结果。