欧姆龙半导体打造MEMS部件用200mm生产线

　　据日经BP社报道，日前欧姆龙的子公司欧姆龙半导体（Omron Semiconductors）建造了用于制造MEMS部件的200mm生产线, 进行自主产品的开发及量产，该生产线位于日本滋贺县。计划2008年4月开始量产MEMS麦克风，之后陆续开始生产RF MEMS开关及压力传感器等需求有望扩大的MEMS元器件；预定2008年度内使生产规模达到约1000枚/月。

　　此前该公司一直利用125mm生产线来生产MEMS部件。为了满足不断增加的需求以及增强价格竞争力，该公司认为必须扩大生产规模、降低制造成本，因此加大了晶圆的直径。目前已经导入蚀刻装置及成膜装置等用于形成三维结构体的设备。欧姆龙半导体此前曾在日本国内利用200mm晶圆量产过半导体元器件。今后将开发生产类似集成有MEMS和电子电路的芯片那样的、只生产半导体元器件或只生产MEMS元器件的厂商所无法生产的产品。