欧姆龙采用MEMS技术将非接触温度传感器灵敏度提高至原来的7倍

     欧姆龙在最新召开的"第37届国际福利机器展"推出了一款新型非接触式温度传感器，由于采用了MEMS技术，传感器元件缩小为150微米，将传感器元件排成16*16的阵列时，芯片尺寸只有6mm见方，据称为"业界最小水平"，灵敏度提到到原有的7倍。

     欧姆龙表示，非接触温度传感器具有摄像头及热释传感器所不具备的特点，即对照明环境适应性强，可感应到处于静止状态的人。但因其灵敏度较低，需要缩小感应区域。因此，要在较大的空间内进行检测，需要安装用来驱动非接触温度传感器的机构以及多个传感器，所以目前尚未普及。

     普通的非接触温度传感器元件，很多红外线都会穿透红外线吸收膜，因而灵敏度较低。此次通过采用在开发液晶用背照灯时培育的光波控制技术，开发出了可使红外线汇聚到红外线吸收膜的微镜。开发这种微镜时，研究人员在以往很难形成曲面的硅晶圆上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圆上形成微镜，因此能在晶圆级别上使传感器元件与镜片进行真空接合，从而减少释放到空气中的热量，以此提高灵敏度。可在保持响应速度不变的情况下将灵敏度提高至原来的7倍。这样，便可使感应区域扩大至原来的7倍。此次开发的据该公司介绍，芯片的灵敏度为350V/W，响应速度为3ms左右。

     感应区域扩大至原来的7倍后，可在店铺及车站等场所，实时检测人群的拥挤情况，由此可将非接触温度传感器用于空调控制用途，还能用于检测夜间有人闯入等防盗用途。欧姆龙公司表示，今后将推进MEMS非接触温度传感器的产品化，通过将其连接至传感器网络等措施。