MEMS加工-MEMS制造技术

    全球共有250家MEMS器件生产企业，产品主要用于满足自身终端消费电子产品的需要。MEMS应用领域非常广泛，单个细分市场规模很窄，一家公司以几亿美元规模就能占据1至2个产品龙头地位。例如，德州仪器占据DLP市场，惠普占据打印机喷墨头市场，安华高科技占据滤波器市场，ADI、ST、飞思卡尔和美新占据加速度计市场，楼氏占据麦克风市场。为了降低成本、垄断市场，国际大公司都加大了8英寸MEMS生产线的建设。意法半导体2006年将MEMS生产线升级到8英寸，欧姆龙、飞思卡尔也开始筹建8英寸生产线。

    国内MEMS加工产业还处于导入期，北京青鸟元芯及无锡美新半导体占据领先地位。青鸟元芯依托北京大学微电子研究院，成为国内第一家批量生产MEMS微型传感器的高新技术企业，月产MEMS传感器达10万只。无锡美新半导体是全球第一家使用标准CMOS工艺、单芯片上集成混合信号处理的热对流MEMS惯性传感器公司；设计生产能力为1500万片/月，加速计产品500万片/月，在无锡第二家CMOS-MEMS工厂已经投产，每月可生产1000万个加速计。但不可否认，国内MEMS制造商的平均生产能力较弱，多数仍采用4到 5英寸的中低端生产线。青鸟元芯就是利用早期从福特公司买来一条二手生产线制造MEMS传感器。

    无锡近邻苏州有昆山传感器产业基地。该基地作为我国唯一生产传感器的国家级产业基地，形成了以自主知识产权的硅压阻式MEMS传感器和变送器为核心的产业链，拥有总投资18亿元的30家传感器生产企业。国内MEMS压力传感器的龙头企业—双桥测控传感器有限公司与敏芯（苏州）微电子企业都名列其中。