TDK ICP-101 xx压力传感器系列详解-电子工程世界

TDK ICP-101 xx压力传感器系列基于MEMS电容技术，以最低功率提供超低噪音，获得行业领先的相对精度、传感器吞吐量和温度稳定性。

电容技术

电容压力传感技术克服了以往压阻技术的诸多挑战，提高了整体性能。下面是这两种结构的比较：

图1 电容技术

电容压力传感器的优势

噪音和功率电容压力传感器性能

电容压力传感器的结构优势实现了无与伦比的超低噪声和功率水平，超过压阻传感器所能达到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx电容压力传感器系列与普通工业压阻传感器的噪音和功率图（输出数据速率为1Hz时）：

图2　噪音和功率

ICP-101 xx压力传感器系列的本底噪声小于0.4Pa-RMS，实现了小于±1Pa的压力测量差，这个精度使高度测量差小到5cm，小于一级台阶的高度。

图3　最低压力噪音和相对精度

温度稳定性

因为压阻对温度变化非常敏感，电容压力传感器天生就比基于压阻的传感器具有更高的温度稳定性。ICP-101xx压力传感器系列实现了行业领先的温度系数偏差±0.5Pa/°C，使设备在一个很宽的温度范围内非常稳定。

电容压力传感器使新用例成为可能

TDK的电容压力传感器具有超低噪音、超低功率和温度稳定性，达到了新的性能水平，使现有的压阻技术不可能实现的用例成为可能。

表1　电容技术

关键字：TDK 压力传感器引用地址：TDK ICP-101 xx压力传感器系列详解

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