MEMS微流体传感器

2007-02-26来源: 电子工程世界关键字:OEM  外形  重量

瑞士微型数字传感器主要生产商——Sensirion股份公司推出第三代MEMS流量传感器,用于对微流体系统的流量进行数字化测量。

通过使用OEM(原始设备制造商)组件,原有微流体产品范围得到扩大。

新型OEM传感器组件价格优惠、结构紧凑,适用于诊断、医疗和生物技术领域。

传感器芯片的集成度高,在降低费用、缩小外形和减轻重量方面起积极作用。这种传感器可以探测介质,精确测量低至纳升/分钟的流量,同时具备非常高的反复精确度。其动作时间在毫秒范围内,可有效检测并控制微流体系统中的动态变化。

测量过程中传感器与介质不发生接触。传感器芯片隔着玻璃毛细管壁进行测量(美国专利号6813944),介质仅与毛细管的内壁接触。

最大型号的传感器可测出3亳升/分钟以下(含3亳升/分钟)的流量。在微缩造型结构方面该最新技术取得了令人惊讶的突破。传感器重量减轻后只有6克(见图)。


关键字:OEM  外形  重量

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