技术文章:Oclaro光子集成电路电隔离技术详解

发布者:学富五车最新更新时间:2020-09-25 来源: 集微网关键字:Oclaro  电隔离技术 手机看文章 扫描二维码
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自从Lumentum合并 Oclaro之后,它们的重点也放到了如何最大限度发挥光子集成等方向的研发力量。

 

在光器件领域,不得不提到两大公司——Lumentum和Oclaro ,而且自从Lumentum合并 Oclaro之后,它们的重点也放到了如何最大限度发挥光子集成等方向的研发力量。

 

传统光子集成电路中的元件通过半导体光波导连接,而未通过波导连接的元件,往往通过深蚀刻的方法,但通过这种方法实现的隔离会引起不必要的光学损耗和背反射。

 

此外,虽然注入可以解决上述问题,但也不是实用的选择,因为为了避免退火的影响,该阶段必须在最终的外延生长阶段之后进行,因此需要非常深的注入,但这所需的离子能量非常昂贵并且与当前的掩蔽技术不兼容。

 

为此,在2017年年底Oclaro(奥兰若)申请了一项名为“光子集成电路的电隔离”的发明专利(申请号 201780080575 .0),申请人为奥兰若技术有限公司。

 

该专利提出的构造具有电隔离的光子集成电路的步骤在图1至图3中示出。其中图2是实施方式的步骤,图1和3则是在构造的不同阶段的光子集成电路的层的横截面图。

 

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图1 用于光子集成电路的波导结构的横截面图

 

图1是在实施电隔离过程之前的波导结构的初始层的截面图。在此阶段,波导结构包括半绝缘衬底303、掺杂缓冲层302和核心层301。缓冲层具有第一类型(n型或p型)的掺杂剂,而用于产生电隔离区域的第二类掺杂剂是p型。

 

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图2是 电隔离方法的步骤流程图

 

图2是该专利提出的电隔离区域构造阶段的流程图,该过程在如图1所示的波导结构上实现。

 

首先选择作为电隔离区域的结构区域,然后是将具有与缓冲层极性相反的第二类型的掺杂剂扩散到结构中。接着,通过将电介质掩模施加到结构的核心层的表面来实现扩散。其中,电介质掩模包括窗口,该窗口对应于将要构造电隔离区域的区域上方的表面区域。最后就是继续扩散,直到第二类型的掺杂剂已经穿透到半绝缘衬底。

 

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图3 扩散过程完成后波导结构的横截面图

 

图3是扩散过程完成后波导结构的横截面图。其中的半绝缘衬底301、缓冲层302和核心层303如图1所示。相较于图1,图3主要增添了锌掺杂的区域501,该区域与其任一侧的区域一起提供npn阻挡结以提供电隔离。

 

以上就是Oclaro关于光子集成电路电隔离的专利介绍,Lumentum和Oclaro的并购,会激发两个公司交叉领域的潜能,那么在光器件领域是否再次上演“1+1>2”呢?让我们瞩目以待。

 

关键字:Oclaro  电隔离技术 引用地址:技术文章:Oclaro光子集成电路电隔离技术详解

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