台积电公布16-10nm FinFET及3D IC提供日程-电子工程世界

在“SEMICON Japan 2012”（2012年12月5～7日，幕张MESSE国际会展中心）开幕当天，台积电研发副总经理侯永清(Cliff Hou)登台发表了主题演讲，公布了该公司关于16～10nm FinFET工艺及CoWoS（chip on wafer on substrate，晶圆基底芯片）型3D IC技术的提供日程。

　　候永清介绍说，SoC（system on a chip）工艺技术方面，台积电将于2013年1～3月启动基于平面晶体管的20nm工艺的风险性量产，在6～9个月以后的2013年底开始提供基于立体晶体管（FinFET）的16nm工艺，再过两年以后，也就是“2015年底，开始10nm FinFET工艺的风险性量产”。

　　台积电将提供的16nm工艺的金属布线部分直接沿袭20nm工艺，将晶体管部分换成16nm工艺的FinFET。与20nm工艺相比，可使晶体管的工作速度提高20％～25％，使耗电量降低35％。由于金属布线部分在20nm工艺和16nm工艺间通用，因此两工艺的芯片面积相同。

　　16nm工艺要使晶体管立体化，因此SoC的设计及验证工作需要的时间比以前更长。为了解决这一问题，台积电将建立能够尽快利用支持FinFET的EDA工具及单元库的环境。具体而言，将从2013年1月开始提供测试芯片，从10月开始提供产品芯片的设计环境。

　　在CoWoS型2.5D及3D IC技术方面，台积电已从2012年9月开始量产。该公司计划2013年1～3月“推出真正的3D IC的第一代技术”（侯永清），该技术将采用将SoC与具备Wide I/O接口的移动DRAM立体层叠起来的设计。（记者：大下淳一，《日经电子》）

关键字：台积电 FinFET 3D 引用地址：台积电公布16-10nm FinFET及3D IC提供日程

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