台积冲10纳米 年底试产

发布者:和谐相伴最新更新时间:2014-09-04 来源: 经济日报 关键字:台积  10纳米 手机看文章 扫描二维码
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  台积电取得跨足10纳米以下先进制程最关键的极紫外光(EUV)机台,摆脱半导体摩尔定律可能受到的物理极限限制,成本还有再下降空间,未来将持续用来生产高通、苹果等大客户高阶芯片。

EUV机台要价9,000万欧元(约新台币36亿元),被誉为是「半导体设备中的钻石」,由于造价昂贵,已竖起进入门槛。

据了解,除了台积电之外,三星、英特尔、IBM也是向艾司摩尔下单EUV机台的「大户」,这些公司将同时取得进入10纳米以下世代制程的门票,半导体业「愈高阶制程愈走向寡占」的态势更加确立。

主导EUV设备开发的艾司摩尔(ASML)亚太区技术营销协理郑国伟昨(3)日在台北国际半导体展(SEMICON Taiwan)开幕首日,透露相关讯息。

他表示,艾司摩尔已接获多家半导体大厂共11台EUV订单,首批六台已交货,台积电在出货名单之列。预料今年下半年到明年第1季,另五台设备也将完成交货。

艾司摩尔这项宣布,透露先前遭遇技术瓶颈的EUV设备,克服关键输出率不佳的最大瓶颈,有助半导体厂加速导入10 纳米量产脚步。

设备商透露,艾司摩尔现有11台EUV订单当中,有两台是台积电下单,其中一台已在台积电竹科12厂安装完毕,正进行10纳米制程研发,另一台可能在明年首季于台积电中科厂装设。台积电昨未对此置评。

业界评估,台积电有了EUV机台之后,先进制程推进脚步将更如虎添翼,甩开原本业界忧心碍于物理限制、恐无法顺利导入10纳米以下制程的问题,若良率提升状况顺利,有助台积电成本持续下降。

郑国伟说,艾司摩尔有信心,协助客户在今年底前试产10纳米制程,并于2016年导入量产,后续也将着手为更先进的7纳米制程做准备。

业界预期,台积电10纳米制程量产之后,初期仍将承接高通、苹果等需要更省电、更高阶制程需求的移动通信芯片大客户订单。台积电昨天涨2元、收128元;美国存托凭证(ADR)也在先进制程布局报喜激励下,早盘涨逾1%。

艾司摩尔在开发EUV机台初期,考量相关投资庞大,对台积电、英特尔、三星提出投资邀约,希望集结各大厂的资源共同开发,三家业者随后都同意入股。台积电在2012年10月投资8.38亿欧元(约新台币335.2亿元),取得艾司摩尔5%股权。



图/经济日报提供
载送EUV 动用11架次747

极紫外光(EUV)机台堪称下世代半导体设备最昂贵、体积最大的核心设备,这项设备的零组件,须透过11个架次的波音747飞机载送,才能完成最后组装。

据了解,EUV设备机台已尽量减少晶圆进出流程,但因必须在真空环境下进行曝光,否则会让空气吸收紫外光而影响曝光显影的精准度,因此整部设备体积相当庞大,必须先拆解零组件,再于晶圆厂内组装。

半导体厂需挑高更高「超大型晶圆厂」,才能摆设EUV机台;机台搬运过程也大费周章,要11架次的波音747飞机运送。

新闻辞典》极紫外光

极紫外光(EUV)技术是次世代微影技术之一,被半导体视为跨入10纳米制程以下,取代传统浸润式曝光(Immersion )、进入18寸晶圆的一项重要微影技术。

浸润式曝光机台是在光源与晶圆中间加入水的原理,使波长缩短到132纳米的微影技术,EUV曝光设备是利用波长极短的紫外线,在矽基板上刻出更微细的电路图案。

EUV售价昂贵,一台售价高达9,000万欧元(约新台币36亿元),主力设备开发厂艾司摩尔(ASML)为降低开发风险,要求英特尔、三星及台积电以入股方式,共同参与这项先进微影技术开发。
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