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集微网6月16日消息,据台湾精实新闻(MoneyDJ)报道,汉微科于今(16)日上午7时30分举行重大讯息记者会,公开宣布汉微科与ASML签署股份转换契约,ASML将收购汉微科全部流通在外之普通股股份,每股收购价为1410元,总交易金额约新台币1000亿元(约27.5亿欧元 ),而汉微科也将成为ASML(或其指定之子公司)100%持股之子公司。本次股份转换案预计于今(2016)年第四季完成,而汉微科届时也将下市。
汉微科董事长许金荣表示,这是双方情投意合。
汉微科表示,此次整并目的主要系考量长期发展方向,并为整合资源、提升营运规模,以提高公司竞争优势,就预计产生之效益而言,预期藉由本次股份转换案完成整并后,可使汉微科与ASML进一步整合,并加速开发半导体厂可使用在最先进制程之技术以提升其良率,使客户取得致胜关键。
汉微科指出,旗下电子束量测技术可针对2D及3D图案进行清楚的成像,ASML可借此成像强化其设计及制程模拟模型,此项应用为运算微影之基石;且经过详细运算后,该模型可引导光学及电子束量测机台到晶圆上最复杂、对良率控制最为关键的图案,以最具成本效益方式支援ASML极紫外光微影系统平台效能的提升,而该平台也将用于2018年起量产的下一代半导体制程上。
ASML指出,双方量测技术将具互补效益,两公司结合,将有利协助客户强化制程控制并提高良率 。随着半导体制程技术不断推进,10纳米以下及3D立体结构制程的制程技术及良率控制难度提高,需高密度、高解析度的量测技术,测量及控制半导体元件效能。立体半导体制程也需要高密度、高电压反差的量测,控制立体结构产品性能。 汉微科多年专注高解析度及电压反差成像电子束产品及应用开发,位居电子束检测设备龙头,核心技术将可增加ASML包括微影曝光系统、运算微影及量测等全方位微影技术解决方案。
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