激光直写光刻机设备商江苏影速集成电路装备计划科创板IPO

9月22日，大族激光在互动平台答投资者提问时表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用，和荷兰阿斯麦公司没有业务往来。 此前，大族激光发布投资者调研相关信息，公司在激光器、切割头、数控系统、电机等核心部件上，均具备自产能力。 大族激光当时透露，近年来，公司大功率光纤激光器的自产率正逐步提升，激光器核心部件的自产率超过90%。公司光刻机项目进展顺利，主要聚焦在5G通讯配套分立器件、LED、Mini/Micro-LED新型显示等方面的应用，已经实现小批量销售。

8月10日，大族激光在互动平台表示，公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用，目前已接到少量订单。 此前，大族激光也在互动平台表示，公司在研光刻机项目主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，尚未实现销售。 行业周知，高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断，一台精密光刻机售价上百亿，而我国半导体行业起步较晚，光刻机技术与ASML的差距非常大。 当前，我国光刻机市场环境中，除了合肥芯硕半导体公司也具备量产200nm光刻机的实力，无锡影幻半导体公司也具备200nm光刻机量产的实力，而上海微电子所生产的90nm光刻机已是目前国内最高技术的光刻机。 随着大族激光在研光刻机项目的有序推进，也为

6月6日，华虹无锡集成电路研发和制造基地（华虹七厂）一期12英寸生产线建设项目首批光刻机搬入仪式顺利举行。 华虹半导体新任总裁唐均君表示，截至昨（5）日，华虹七厂已搬入35台工艺设备，其中25台已安装完成并成功上电，从打桩到设备搬入仅用时14个月。 ASML全球资深副总裁Bert Savonije在致辞时表示，华虹七厂是华虹走出上海的第一个Fab，ASML见证了华虹速度的新纪录、华虹团队的执行效率和使命感。华虹肩负着加快中国集成电路产业发展的重要使命，华虹七厂的落成是这其中的一个重要里程碑，ASML非常荣幸能参与其中，通过这个项目为中国半导体做出贡献。 两周前，ASML与华虹团队在华虹六厂庆祝了合作十

这一年多来，全球半导体产能紧张，台积电等芯片制造公司也在积极扩大产能，光刻机之类的设备很抢手，在这个关键时刻，全球光刻机一哥ASML的工厂发生火灾，目前损失还在评估中。 　　 据报道，ASML公司在德国柏林的工厂突然发生了火灾，目前可以确认没有人员伤亡，但具体的损失情况还不确定。 ASML公司在给媒体发布的声明中指出，评估损失需要几天时间，现在就提出是否影响今年业绩或者就损害索赔等问题还为时尚早。 　　 起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收购了这家公司，后者主要为ASML光刻机制造光学系统，这是光刻机的三大核心部件之一。 　　 2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约

近日，上海半导体装备材料基金宣布已成功入股华卓精科。据华卓精科官网显示，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。万业企业作为装备材料基金的主要LP，通过基金入股，迅速布局光刻机双工台核心设备。 业内人士表示，华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破，为我国自主研发 65nm 至 28nm 双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能，其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。据了解，华卓精科将于近期正式申请登陆科创板。万业企业通过装备材料基金参投华卓精科，也有利于夯实万业企业战略布局国产设备赛道，提升万业企业的产业协同和价值收益。

据报道，为了从台积电手中夺回“全球最先进芯片制造商”的地位，英特尔今日向荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）订购了一款最先进的芯片制造机（光刻机）。 　　 这款光刻机目前仍处于设计阶段，预计数年后才会交付。阿斯麦今日在财报电话会议上称，该公司目前已收到5台下一代光刻机的订单，以及一台仍在设计中的更新型号的订单。随后，阿斯麦和英特尔在另一份联合声明中称，英特尔就是更新型号光刻机的买家。 阿斯麦最先进的商用机器被称为“EUV光刻系统”，使用“极紫外光”（EUV）光波来绘制计算机芯片的电路的，其大小相当于一辆公交车，每台成本约为1.5亿美元。一家先进芯片工厂通常需要9~18台这样的设备。因此，光刻机是芯片制造商最大的资本开支之一。