芯源微：9月30日至12月28日，获政府补助418.55万元

沈阳芯源微电子设备股份有限公司(下称“芯源微”)今（28）日发布公告称，自2020年9月30日至2020年12月28日，累计获得政府补助款项人民币418.55万元，均为与收益相关。

另外，芯源微在公告中指出，上述政府补助未经审计，具体的会计处理及对公司 2020 年度损益的影响，最终以审计机构年度审计确认后的结果为准。

据天眼查信息显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

该公司自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、先进封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。