涉及高端光刻机等 2021年度国知局专利专项研究项目立项

去年，一台价值1.06亿元设备经空运从荷兰飞抵厦门，由于该设备价值高，而且对保存和运输有着很高的要求——保存温度必须保持在23摄氏度恒温状态下，为了避免影响设备的精度，在运输中也对稳定性有极高的要求。因此，机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管，待货物装入特制温控气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下，在完成紧急查验后当晚就放行。 没错，这台设备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜测，这台设备很有可能是厦门当地政府与台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不过，由于西方瓦森纳协议的限制，中国只能买到ASML的中低产品，这一点从厦门当地企业进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。 目前，光刻机领域的龙头老大

Intel这几年在工艺进度上落后跟10nm、7nm工艺多次跳票有关，而新工艺延期也跟Intel此前不考虑EUV工艺有关，所以10nm工艺才上了四重曝光，导致良率上不去，迟迟无法量产。 　　 Intel之前认为EUV工艺不够成熟，现在EUV光刻工艺已经量产几年了，Intel也开始跟进了，原先的7nm工艺、现在的Intel 4工艺会是全面使用EUV光刻机的开始，首款产品是Meteor Lake流星湖，2023年发布。 　　 之后的Intel 3工艺、Intel 20A工艺上也会持续利用EUV工艺，进一步提升性能及能效。 　　 再往后Intel还会积极跟进EUV技术发展，2025年之后的工艺已经规划到了Intel 18A，将使用第二代R

9月1日消息，ASML方面已经表示，将在年底前向中国客户交付部分先进芯片制造装备。 据美国媒体报道称，ASML已经获得荷兰官方的允许，在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。 按照ASML的说法，在2023年的剩余时间里，ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品，这些产品从9月1日起就受到限制。 至于2024年是不是可以继续，ASML则表示暂时不能确定。 据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。 ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT

据台媒digitimes报道，台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计EUV光刻机至2021年底将超过50台。 据悉，台积电目前累计EUV设备采购规模已逾30台，光是5/3nm据点的南科目前就达20台。 据此前供应链消息，台积电虽然失去了华为的订单，但AMD、英伟达、联发科、高通与苹果迎来了出货旺季，已陆续加大7nm、5nm订单。其中，7nm现已提前达到每月13万片产能，年底约将再增至14万片。而5nm目前由每月5万片逐步提升，原定2021年上半8万~9万片月产能目标，近日已上调至10.5万片，产能仍旧供不应求。 反观三星电子，其EUV设备累计采购量目前不到20台，据业内人士估算，三星2021年仍不到25台。另外，EUV P

编者言：2018 年未来科学大奖在 8 日揭晓，今年颁出的数学与计算机科学奖，由台湾清华大学林本坚教授获得。 过去 24 小时，许多媒体争相报导 “谁是林本坚?”，在此其中，许多人谈林本坚对台积电的贡献，许多人谈他如何改变半导体技术发展的路径，这些都是林本坚教授奉献人生近 50 载在半导体科研技术领域所写下的成就篇章。 　　 林本坚对于科研的追求精神与实质贡献，拿下未来科学大奖实至名归，但在林本坚获奖的背后，其实更让人深思的是，在激烈讨论中国半导体芯片产业发展问题的当下， 林本坚——一个孜孜矻矻的科研工作者，用他终身的科研成就改变了全世界半导体技术发展的路径，由此所激荡出的影响之深远，不只是单一公司在商场上的胜负消长，而

中学课本上有一篇文章叫《核舟记》，讲述了古人在核桃上刻出苏轼泛舟赤壁图的奇巧技艺。 几百年后，半导体产业已经将这种细微处创造天地的技艺发展到超乎想象的境地。 本文要说的，就是让半导体真正能够妙至颠毫的工具，也是人类工业最伟大的发明之一…… 一、引子 从1947年美国贝尔实验室里诞生的点接触型的锗晶体管开始，芯片半导体产业迅猛发展，如今已精密到在一粒米上刻下整部《红楼梦》不成问题。 这背后需要一个强大的工具——光刻机。 说到光刻机，这个一直低调隐匿在芯片产业幕后的人类伟大发明，仿佛一夜之间受到了全世界的关注。 今天，IT之家小编汐元就和大家聊聊光刻机的那些事。 二、贸易风云裹挟下

11 月 6 日消息，日本佳能一直在投资纳米压印（Nano-imprint Lithography，NIL）这种新的芯片制造技术，并计划将新型芯片制造设备的价格定在阿斯麦最好光刻机的很小一部分，从而在光刻机领域取得进展。 纳米压印技术是极紫外光刻（EUV）技术的低成本替代品。佳能首席执行官御手洗富士夫 (Fujio Mitarai) 表示，该公司最新的纳米压印技术将为小型芯片制造商生产先进芯片开辟出一条道路。 “这款产品的价格将比阿斯麦的 EUV 少一位数，”现年 88 岁的御手洗富士夫表示。这是他第三次担任佳能总裁，上一次退出日常运营是在 2016 年。御手洗富士夫还说，最终的定价还没有敲定。 总部位于荷兰费尔德霍芬的阿斯麦

　　 长江存储 的首台 光刻机 已于今天中午运抵武汉天河机场，设备相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后，即可运至 长江存储 的工厂。据集微网独家消息，这台 光刻机 为ASML的193nm浸润式 光刻机 ，售价7200万美元，用于14nm~20nm工艺。这也从侧面透露了 长江存储 3D NAND闪存芯片的工艺制程。这是长江存储的第一台光刻机，陆续还会有多台运抵。下面就随嵌入式小编一起来了解一下相关内容吧。 图：ASML的光刻机安全降落武汉天河机场，正在卸货中 　　在今年的4月5日，长江存储首批400万美元的精密仪器开始进场安装，标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段。据悉，长江存储已经试产，产业链上不少