传英特格或将为台积电供应EUV光罩盒

7月21日，据台媒经济日报报道，供应链消息传出，半导体材料厂商英特格将开始供应EUV光罩盒给台积电南科厂和美国亚利桑那州。

此前，英特格就宣布未来三至五年，将在中国台湾投资2亿美元在高雄设厂，研发生产半导体先进制程用的化学材料、流体过滤器、电子级化学品容器及工业材料特殊涂层，主要提供半导体产业上、中、下游厂商的先进制程原料及微污染解决方案，预定于2023年量产。

供应链指出，英特格的高雄厂将为5nm、3nm这类最先进半导体生产材料，并已计划供应EUV光罩盒给台积电南科与美国亚利桑那州厂。

根据集微网此前报道，台积电亚利桑那州厂将于2021年动工、2024年开始量产，生产5nm制程产品，将是台积电在海外最先进制程的生产据点，以就近满足北美市场对于先进制程的强劲需求。