今年6月,上海微技术工业研究院资助上海大学8英寸MEMS中试线每年四分之一总机时,用于微电子学院教学实践,为期五年。
据上观新闻最新报道,这个暑假,上海大学微电子学院十余名研究生已正式在上述MEMS中试线实习,学习集成电路制造工艺、在导师指导下参与创新项目。
据悉,工研院的8英寸MEMS中试线于2017年9月投入运营,是国内首条、国际领先的MEMS中试线。
公开资料显示,上海大学微电子学院成立于2019年11月,为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、嘉定区政府、集成电路全产业链创新企业共建,积极探索新机制,集聚社会优质资源,打造上海大学国际领先的集成电路超越摩尔人才培养高地。其前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业,历经60年发展,目前已形成本科基础教学和研究生多学科培养特色,以及多学科融合交叉的研究基础。
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