滨松中国携革命性产品—LDLS光源亮相NEPCON上海展

传统弧光灯（氙灯、氘灯等）使用电极驱动，限制了亮度、寿命和稳定性等性能，激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）采用无电极结构，利用激光驱动氙灯产生的高温等离子体，保证输出光束具有超宽光谱（1700 nm ~ 2100 nm）、超高亮度、超长寿命（> 9000 h）和超高稳定性，而且LDLS在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上，非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域；另外，因为LDLS具有出色的光谱覆盖性、寿命、亮度，所以LDLS非常适合那些目前在使用传统弧光灯，但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的客户。推荐应用领域：半导体行业、光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。如对LDLS产品感兴趣，欢迎来滨松光子学商贸（中国）有限公司（NEPCON China展位号：1K10）展台参观LDLS展品。

滨松光子学商贸（中国）有限公司是日本滨松光子学株式会社在中国的在中国的销售、技术支持、售后服务等市场活动中心。1953年成立的滨松，是光科学、光产业领域的知名品牌。产品被广泛的应用在分析仪器、医疗设备、核技术应用、科学研究、安全检查、民用消费电子等产业。

由滨松中国带来的革命性产品——LDLS光源，将在今年4月24-26日上海世博展览馆举办的NEPCON China舞台上重磅亮相。LDLS综合了卤素灯、氘灯、氙灯等光源性能特点，能广泛应用于半导体检测与度量（inspection & metrolgoy）、生命科学与材料科学、前沿学术研究、光学传感器检测（含3C）和光学组件（如filter）检测等领域。

LDLS具有极高的亮度、超宽光谱（从170nm到2100nm）、极高稳定性及超长寿命的特点。相较于传统光源在应用中更具优势。其工作原理是：激光经过透镜汇聚后，被用于维持LDLS内灯泡通过高压放电产生的等离子体，从而输出高亮度、长寿命、宽光谱、稳定的光。

图为：LDLS光源