无锡微纳园以MEMS创新技术产业化为落脚点

      国务院总理温家宝近日在无锡考察时，第一站就选择了无锡太湖科技园区微纳国际创新园，因为这里有着中科院无锡高新微纳传感网工程技术研发中心。无锡太湖科技园区科技经济发展处处长马晓东表示，在太科园建设中国首家微纳国际创新园（China MEMS Innovation Park, CMP），是无锡市委、市政府落实科学发展观，转变发展方式、提升产业结构，在国内率先占领微纳产业发展制高点的重要举措，而实现MEMS创新技术的产业化则是CMP的落脚点。

　　中科院上海微系统所是国内惟一的专业微纳产业研究所，拥有微纳从材料、技术、器件、系统到网络的全产业链，在国家微纳传感网领域具有重大影响力。马晓东表示，CMP和中科院上海微系统所的合作，旨在借助该所在国际微纳技术领域内的同发优势、领先的全球先进研发能力，以传感网带动系统、器件、材料等的应用需求，从而促进无锡整个微纳产业链的发展。马晓东说，“上海微系统所具有MEMS基础技术研发的优势，而技术走出实验室实现产业化则需要依托地方政府的推动，这是我们双方在短时间内就能实现从意向到实质性合作的原因所在。”

　　随着中科院无锡高新微纳传感网工程技术研发中心的落户，CMP拥有了起步早、掌握标准制定话语权和MEMS技术相对领先的优势。无线传感网由随机布设大量、多种类微型传感器快速自行组网，通过对动态信息进行交互和计算后综合传递给上层网络终端，并可灵活接入互联网、卫星网络。据了解，我国现代意义上的无线传感网研究基本与发达国家同步启动，其中多项关键技术已列入“国家中长期科技发展规划”，并具备制订国家乃至国际标准的条件。今年4月中科院上海微系统所已研制成功国内首枚无线传感网核心协议芯片，为我国自主知识产权无线传感网的产业化应用提供了可能。

　　据悉，上海浦东国际机场目前已布设各类MEMS传感器，通过对振动或声响、磁力或微波监测，不仅能准确感知来者为何物，还能通过相互间的无线通信判断来者的方向、速度、远近等，甚至能自动调用摄像头提供视频数据，以确保航空安全。家用传感网则将居家环境控制在一个最为适宜和安全的状态。据悉，中科院微系统所研制的“平安家居”无线传感网系统将在年内推向市场。在环保监测上，如针对气体泄漏、水污染等，生化传感器可实时跟踪有害物的扩散路径。目前，宁波北仑区政府应急指挥中心、嘉兴水运智能交通系统已有示范应用，在电力、水利设施维护等领域也开发当中，而上海世博会又是一个MEMS传感器应用重点开发项目。

　　目前，世界不少发达国家加大传感网技术研发投入，开发MEMS创新技术以占据领先位置。马晓东认为，MEMS技术是未来最具发展潜力的高新技术，它的应用可以说无处不在。而微纳产业既是新兴产业，也是高新技术领域发展新的增长点。以往那种主要依靠投资制造项目发展微电子产业的模式已有瓶颈，我们必需形成自己的技术产业链，在产业高端寻求经济效益，而无锡率先建设微纳国际创新园，将促使无锡在信息技术产业升级中谋得发展先机，形成以微纳科技为核心的新产业集群。作为我国微电子产业的重要生产基地，无锡现有IC生产及配套企业160多家，可以说CMP将肩负着无锡培育微电子产业新增长点的重要使命。

　　随着6月9日中国微纳国际创新园在无锡新区太湖科技园区的奠基，国内首家以微纳技术为核心的专业科技产业园区正式诞生了。据介绍，CMP一期规划500亩，2009年启动一期20000平方米载体建设。通过“一中心（中科院上海微系统所无锡微纳传感网应用工程研究中心）、一平台（微纳公共技术服务平台）”为基础建设园区，全力打造完善的微纳产业链，促进微纳传感网、器件、材料、工艺、设备等技术研发和产业化，通过3-5年的建设，形成300-500亿产值规模。马晓东表示，无锡微纳创新园将是国内第一个拥有从设计、制造到产品的完整微纳产业链专业园区，这将吸引更多的国内外MEMS创业团队、器件厂商集聚CMP。