行业迎来MEMS器件热 细数ADI近年MEMS新品发布

近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。各大厂商这两年来纷纷推出众多的MEMS器件，MEMS涉及的产品领域极其丰富，大家所熟知的有MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS麦克风、磁力计等。面对当前的MEMS器件热，电子发烧友网在这里先为大家整理了ADI近年来发布的MEMS器件新品来供大家认识与了解。

ADI MEMS加速度计新品系列

ADI首款MEMS加速度计ADXL350具最小与最大偏移敏感度

美商亚德诺（Analog Devices， Inc.， ADI）公司推出首款具有相对于完整温度範围最小/最大偏移敏感度的微机电系统（MEMS）加速度计 ADXL350 ，这款叁轴 MEMS 加速度计具有在X与Y轴上+/-0.31 mg/℃以及在Z轴上+/-0.49 mg/℃的最大偏移温度敏感度，能够保证在-40℃至+85℃的完整温度範围中可预期与可量化的性能。

目前市场上的MEMS加速度计通常只会设定相对于温度的偏移敏感度，并需要随温度进行校正以维持精确的感测器读数。ADXL 350相对于温度的最小/最大偏移敏感度规格，即使是在具有宽广温度範围的应用当中都能够保证提供已知而且可量化的偏移感测器量测。此外，ADXL 350具有低杂讯密度，能够让设计厂商以！ 低杂讯层从应用装置获得可以採信的量测结果。

ADXL 350提供具有13位元解析度的内建类比数位转换功能，最低可达2 mg /LSB，而且组态可以在+/-1g/2g/4g/8g 的範围设定。ADXL 350採用小巧佔位面积的3 mm x 4 mm x 1.2 mm、16隻接脚塑料腔层压封装。ADXL 350很适合使用于工业与国防工业当中的高性能应用，像是瓦斯/自来水计量表、环境监测器、以及军用通讯无线电等。

ADXL 350 MEMS 加速度计的主要特点包括：

相对于温度的最小/最大偏移敏感度为+/-0.31 mg/摄氏度 X/Y轴、+/-0.49 mg/摄氏度 Z轴，保证了在完整温度範围中可预期与可量化的性能。

以13位元的内建A/D转换器提供2 mg /LSB的解析度，实现了低于1.0°倾斜变化的量测功能。

低功率模式实现了以动作为基础的智慧型电源管理，并能够以极低的功率消耗执行临界感测与主动加速度量测。

ADI推出首款商用模拟三轴MEMS加速度计

ADI公司的ADXL377MEMS加速度计能够精确测量接触类运动及工业设备高冲击事件中的冲击力

Analog Devices， Inc. （NASDAQ： ADI）最近推出业界首款商用模拟三轴高g MEMS加速度计。ADXL377可测量±200 g满量程范围内且无信号饱和情况下由冲击和振动引起的高冲击事件的加速度。该测量范围与可连续捕捉冲击数据的模拟输出相结合，使ADXL377成为接触类运动的理想传感器，可通过检测冲击力来了解创伤性脑损伤（TBI）指标。ADXL377带宽为1600 Hz，也非常适合用于密切监控冲击水平的工业设备。ADI公司的新型三轴加速度计无需对准及放置正交传感器，可大大简化设计。电路板空间比需要多个单轴加速度计的典型解决方案缩小了多达5倍。

在其他应用中，ADXL377三轴高g MEMS加速度计可集成到IZOD 2012 INDYCAR系列车手冲击安全系统中。INDYCAR与ADI公司在ADXL377产品定义阶段开展了密切合作，由此产生的器件使得INDYCAR能够升级其通信耳机中的传感器，据INDYCAR工程总监Jeff Horton称，该耳机是用来测量练习赛、计时赛和正赛中由于碰撞对车手产生的冲击。

Horton表示：“ADI公司的新型ADXL377三轴加速度计将为我们的耳机传感器项目锦上添花。该器件尺寸更小，大大缩短了将元件放入各车手定制耳模之前所需的生产时间，而且加速度计的位置离耳道口更近，有助于将加速度计连接至驾驶员头部，获得更加准确的读数。过去，要获得相同的数据，我们必须在每只耳朵内使用三个独立的IC。”

ADI公司MEMS/传感器部门副总裁兼总经理Mark Martin表示：“如今，创伤性脑损伤已成为运动员、工人和军人等各行各业都会遇到的严重医学问题，ADI致力于帮助客户设计更加小巧、精确、简单的抗冲击系统。由于上述大量应用都需要极高的移动能力，因此，如果能够在省去正交传感器的同时降低能耗，就意味着这些电池供电设备能够延长单次充电的续航时间。”

ADXL377 MEMS加速度计特性

• 三轴检测

• 范围（g）： ±200

• 功耗：300 μA（典型值）

• 单电源供电：1.8 V至3.6 V

• 抗冲击能力：10000 g

• 小尺寸薄型封装

• 带宽：1600 Hz，适合工业冲击检测应用

ADI推出双轴iMEMS加速度计ADXL206

Analog Devices， Inc. ADI），全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近正式全面推出高精度、低功耗、提供信号调理的模拟电压输出的双轴iMEMS®加速度计ADXL206。单芯片ADXL206的满量程加速度测量范围为±5 g，既能测量振动等动态加速度，也能测量重力等静态加速度。保证的工作温度范围为-40°C至+175°C，具有出色的整体稳定性，非常适合用于地质钻探工具和其它极端高温工业应用。

ADI公司MEMS和传感器技术部营销与应用经理Wayne Meyer表示：“我们没有使用额外的温度补偿电路，而是采用创新的设计技术来确保从内部实现高性能。因此，它基本上不存在量化误差或其它非单调性，温度迟滞非常低，在−40°C至+175°C的整个温度范围内通常小于2 mg。这款产品再次彰显了ADI公司在高性能MEMS惯性传感器领域的领导地位。”

ADI公司仪器仪表市场营销经理Pam Aparo表示：“一方面，设计师结合各种智能钻探系统，以力求不断深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空间要求与获得更多信息之间作出权衡。ADXL206 iMEMS加速度计不仅是一款极为紧凑的解决方案，而且大幅降低了功耗，单轴功耗从10 mA以上降至0.5 mA以下。”

ADXL206 iMEMS加速度计的典型噪底为110 μg/√Hz，因而在倾斜检测应用中，可以利用窄带宽（《60 Hz）解析1 mg（0.06°倾角）以下的信号。根据应用需要，可以选择0.5 Hz至2.5 kHz范围内的带宽。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引脚侧面钎焊陶瓷双列直插式封装（SBDIP）。

ADXL206 iMEMS加速度计主要特性

温度范围：–40°C至+175°C 分辨率：1 mg （60 Hz） 低功耗：700 µA（VS = 5 V，典型值） 高零g偏移可重复性 高灵敏度精度 抗冲击能力：3500 g 产品报价与供货。

ADI MEMS陀螺仪系列产品

ADI推出两款MEMS陀螺仪新品ADIS16136和ADIS16488

近日，ADI推出两款MEMS陀螺仪新品。一款是战术级iSensor®数字MEMS陀螺仪ADIS16136，性能可匹敌光纤陀螺仪。另一款是iSensor® MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488，它是最稳定最完整的集成传感器套件，在很多性能指标上优于其它同类IMU，甚至优于传统的军用级IMU。

ADIS16136 iSensor数字MEMS陀螺仪

ADIS16136典型零偏稳定度为3.5o/小时，采用火柴盒大小的模块封装，功耗低于1 W，重量仅25克。ADIS16136无需用户配置就能产生精密准确的速率检测数据，使快速开发平台稳定控制、导航、机器人、医疗仪器仪表等对精度要求非常高的应用成为可能。

ADI公司MEMS/传感器技术部iSensor业务开发经理Bob Scannell表示：“与昂贵的光纤陀螺仪相比，ADIS16136 MEMS陀螺仪的稳定度和角度随机游走特性与之相当，线性度则提高2倍，启动时间快30倍，功耗低5倍。更重要的是，ADIS16136陀螺仪的尺寸非常小，大约为1立方英寸，重量仅有25克。相比于10立方英寸甚至更大的光纤陀螺仪，ADIS16136可以说是体积非常的小，这将有助于许多新应用实现精密角速率检测。”

ADIS16136将iMEMS®技术与ADI公司成熟的信号调理技术结合，可提供优化的动态性能。ADIS16136以最高2048 SPS（每秒采样数）的速率提供数据，并提供一个均值/抽取滤波器结构，以优化噪声与带宽的取舍。串行外设接口（SPI）和用户寄存器结构可让用户轻松访问配置控制和校准的传感器数据，适合嵌入式处理器平台。每个器件均在整个温度范围内经过全面的校准，具有器件特定的补偿公式，无需额外测试或校准便可提供高度稳定的传感器输出。380 Hz的宽带宽能为复杂的稳定应用带来显著的优势。新款陀螺仪采用36mm× 44mm × 14mm封装，提供4个孔，可轻松实现机械固定;此外还提供一个标准24引脚、双排、1 mm间距连接器，可与印刷电路板或电缆系统实现电气连接。工作温度范围为-40℃至+85℃。

iSensor® MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488

第三代iSensor® MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488是一款战术级10自由度（DoF）传感器，在单封装中集成一个三轴陀螺仪、一个三轴加速度计、一个三轴磁力计和一个压力传感器。ADIS16488提供最稳定、最完整的集成传感器套件，支持高性能导航和平台稳定控制应用的严格要求。除了重要的战术级（低于10o/小时）零偏稳定度以外，在重力加速度效应、温度系数和带宽等一般更重要的特性方面，ADIS16488超过其它同类陀螺仪/IMU产品，改善最多可达100倍。此外，在对线性加速度和振动加速度抑制方面，新款iSensor MEMS IMU甚至超过传统军用级IMU。每个器件均要经过独特而全面的工厂校准，能够在最恶劣的环境下提供更高的精度;相对于典型的运动传感器开发，设计的复杂度、时间、成本和风险大大降低。

Bob Scannell表示：“工业、军用和医疗设备的设计工程师要求精度极高的运动检测和控制，来支持稳定或导航应用。ADIS16488战术级IMU提供的性能水平以前只有不限预算的设计才能获得。相比于传统高端IMU，ADIS16488在零偏稳定度和角度随机游走等关键指标的性能与之相当或更好，而对振动校正、线性度和带宽等一般更重要的参数，ADIS16488能够提供更优越的性能，并且功耗仅为其1/4，成本仅为其1/10。”

ADIS16488是一款完整的惯性测量系统，提供优化的10自由度动态性能。它完全自主工作，包括所有嵌入式补偿，通电后500 ms就能从SPI接口获得有效数据。所有校准均在工厂完成，嵌入式滤波和其它诊断由ADI Blackfin®处理器控制的可配置接口进行调整，因而设计集成的大部分时间和风险得以消除。

ADI推出最稳定抑制性能最高的iMEMS陀螺仪ADXRS800

Analog Devices， Inc--ADI，全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近推出 ADXRS800 i MEMS ® 陀螺仪 ，它采用已获专利的差分四梁架构，能够将线性冲击和振动的影响降至最低，适合汽车电子稳定性控制、侧翻检测和俯仰检测应用。ADXRS800 已通过汽车安全应用认证，是目前最稳定、振动抑制性能最高的汽车级陀螺仪，其连续机电自测特性可确保陀螺仪输出信号的完整性。

ADI 公司汽车应用副总裁 Thomas Wessel 表示：“稳定控制系统始终需要精确的惯性信号，特别是当存在恶劣的振动和冲击时，ADXRS800 出色的振动抑制性能对安全至上的汽车应用极为有利。连续自测特性对于实现最高工业标准的故障安全系统性能也很重要。该器件的创新性能将使汽车更安全。”

与其它 MEMS 陀螺仪不同，ADXRS800 的独特架构使其能够在极端恶劣的汽车环境中提供非常精确的性能，而无需借助复杂且昂贵的系统级对应措施。对线性加速度的灵敏度仅为 0.03°/s/g，振动校正特性仅为0.0002°/s/g2，+105摄氏度 时的噪声速率密度为0.02°/s/√Hz，整个工作温度范围内和产品寿命期间的零点失调偏差最大值为3°/s。该陀螺仪的偏置稳定性优于其它器件，并且无需校准，因而系统设计得以进一步简化。此外，典型条件下的功耗仅6 mA。新款陀螺仪提供空腔塑封 SOIC-16（Z轴）和 SMT 兼容垂直贴装（X轴）两种封装，能够在-40摄氏度至125摄氏度的扩展温度范围内工作。

有关 ADXRS800 iMEMS 陀螺仪的更多信息

ADXRS800 的连续自测架构简化了故障检测算法，系统设计师可以将故障检测快速集成到设计中。机电系统的完整性通过以下方法来检查：对检测结构施加一个高频静电力，以便与基带中的实际速率激励信号区分开来，然后滤除实际速率激励信号，使传感器输出不受干扰。由于动态范围非常宽，ADXRS800能够检测高达±300°/s 的角速率，同时在低端提供80 LSB/°/s的高分辨率。采用80 Hz 滤波器时，噪声低至0.16°/s rms。角速率数据以16位字形式提供，作为32位串行外设接口（SPI）消息的一部分。其它特性包括：在扩展的工业温度范围内提供内部温度补偿;可选的独特陶瓷垂直贴装封装，它支持在单一 PCB 上进行三轴检测而无需子板。