募资10亿，这家国产设备厂商正式闯关科创板
3月3日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）科创板上市申请正式获得上交所受理。
资料显示，微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。
ALD设备系集成电路先进制程晶圆制造的关键设备，在28nm及以下制程逻辑芯片、17nm及以下DRAM芯片、3D NAND以及新型存储器、新型应用市场中有着广泛应用空间。
微导纳米ALD设备目前主要应用于光伏领域，与此同时，在半导体等其他领域也加大了新产品的研发力度，并实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺中的突破。
据悉，在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，并持续推进在半导体及其他细分领域的验证和应用。
财务数据显示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月营收分别为4191.06万元、2.16亿元、3.13亿元、2.31亿元；同期对应的净利润分别为-2827.47万元、5455.11万元、5701.44万元、2055.48万元。
微导纳米此次拟募集资金10亿元，扣除发行费用后将用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目、以及补充流动资金。
本次募投项目达产后，公司将新增年产120台光伏、柔性电子领域的ALD设备，以及年产40套半导体领域ALD设备的生产规模。
微导纳米表示，通过募投项目的实施，将有助于公司把握下游行业发展趋势，持续升级现有产品，提高公司薄膜沉积设备的生产能力和市场占有率，促进半导体装备国产化。
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