SINGULUS引进ICP-PECVD技术改进Silex系统

日前，SINGULUS技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（ICP-PECVD）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的EU—PVSEC上展出。

2011年8月3日，该公司宣布其Silex湿法蚀刻工具的改进，其采用无溶剂的处理方法可以大大降低光伏电池的生产成本。

该公司新推出的“Singular”是一个由数个真空室构成的模块化的工具，它使高效率的光伏电池制造过程更为灵活。SINGULUS指出，改进后的Silex系统避免了使用挥发性溶剂包括异丙醇（IPA）。

同时，该公司指出，这比传统的蚀刻系统成本更低，使蚀刻液的寿命延长了3倍并缩短蚀刻时间。新系统能够达到每小时3000片的产量，废品率小于0.05％。公司指出，第一台机器已被一亚洲客户买走，并已顺利通过了最终验收测试。