MEMS射流角速率传感器中微悬空铂丝加工工艺的优化设计-电子工程世界

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传统的MEMS长期依赖陶瓷封装，虽然行之有效，但MEMS产业已经酝酿向晶圆级封装（WLP）技术转变，而这一转变的部分驱动力则来自于越来越多的晶圆代工厂开始涉足于MEMS领域。 “TSMC（台湾新竹）和一些其他的晶圆代工厂已经在谈论在未来制造MEMS部件，” MEMS封装专家、ET-Trends（罗德岛，West Greenwich）的创始人Ken Gilleo这样介绍，“他们也同样拥有制作封装所需的资源。如果他们决定进入这一领域，他们会更倾向于直接进行晶圆级封装。因而大型晶圆代工厂可能最终成为创新型MEMS封装的主角。” Yole Développement（法国，里昂）的一名分析师Jerome Baron说：“当

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无与伦比的性能— Tronics Microsystems 高性能 MEMS 惯性传感器

Tronics 的闭环 GYPRO® 系列将 MEMS 陀螺仪的性能提升到无与伦比的水平，适用于精密导航、运动追踪和控制，以及光学防抖等应用全球电子元器件与开发服务分销商 e络盟宣布引入来自 Tronics Microsystems （ TDK 公司旗下专注于生产标准惯性传感器和定制 MEMS 产品的部门）的全系列高性能 MEMS 陀螺仪，进一步扩大其惯性传感解决方案产品组合。这一举措让e络盟能够为那些寻求创新开发、先进技术和高性能解决方案的客户提供更强的支持服务。 “Tronics 的 GYPRO® 闭环 MEMS 陀螺仪可将 MEMS 惯性传感器的性能提升到前所未有的水平，实现卓越的测量精度和长期稳定性，”Pr

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车用传感器及MEMS市场加速成长，规模翻倍

拜电动车及自驾车蓬勃发展之赐，车用芯片、车用传感器市场成长快速，尤其车用雷达、CMOS影像传感器等高价感测模块出货成长突飞猛进，市调机构Yole Developpement预估，车用传感器、微机电(MEMS)市场规模将从2016年的110亿美元，至2022年扩增至230亿美元，市场规模等于成长逾1倍，年复合成长率高达13.7%。车用传感器及MEMS市场规模一览法人表示，车用传感器及MEMS市场正在快速成长，投入车用传感器研发多年的IC设计厂原相不仅完成许多ADAS传感器及算法专利申请，也已打进一线车厂供应链，可望成为最大受惠者。至于国际半导体厂近年来大举释出车用传感器代工订单，专攻车用传感器及MEMS封装的胜丽营运成

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满足汽车高性能应用意法半导体推出下一代MEMS加速度计

4月26日，全球最大的半导体公司之一意法半导体（STMicroelectronics）推出三轴线性加速度计AIS2IH，具有更高分辨率、温度稳定性和机械稳定性，可用于非安全性汽车应用，包括防盗、远程信息处理、信息娱乐、倾斜/倾斜度测量和车辆导航。此外，该产品还为满足汽车、医疗和工业领域的高性能应用铺平了道路。凭借意法半导体在微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）和汽车技术的领先地位，AIS2IH具备市场领先的可靠性，同时还可在零下40ºC至115ºC的工作温度范围内提供高性能的运动感应。此外，该加速度计采用紧凑的LGA-12陆地栅格阵列封装，功耗超低，且具有超高价格竞争力。

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深迪路演北京收官国内MEMS产业仍待发展

6月23日，2016年深迪半导体产品路演的最后一站在北京希尔顿酒店成功收官，除业内专家、合作伙伴和媒体到场支持外，还获得了政府、小米投资和华登国际的关注。中国MEMS市场潜力巨大 2014年全球MEMS传感器市场产值约为111亿美元，预计2020年将达到每年300亿颗的出货量，市场规模将达200亿美元，年复合增长率约17%。深迪半导体总裁兼CEO邹波指出，市场的增长来自于智能手持、可穿戴设备、物联网、医疗电子产品以及将自动驾驶车作为目标的汽车产业等应用迈向“传感化”。以中国市场来看，赛迪数据显示，2015年中国MEMS器件的市场规模在313亿元人民币，占据全球市场的三分之一，预计2

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赛微电子：北京MEMS产线预计三季度投入使用

在天风证券春季论坛半导体交流会上，赛微电子董事会秘书、副总经理张阿斌表示，在COVID-19疫情背景下，国际及国内物流及人员交流均受到不同程度的影响，北京MEMS基地工程建设的部分收尾工作以及部分机电和设备的安装调试、试生产的安排均受到不同程度的影响。不过，赛微电子努力克服疫情所造成的各种困难，截至目前，北京MEMS产线基地厂房建设接近尾声，主厂房及支持层区已接近完工；动力厂房各功能系统已安装到位；大宗气站与化学品库已建设完毕；办公楼层与倒班公寓已启动装修；一期产能所需洁净室已准备就绪，一期产能所需设备均已入厂，厂务系统已开始运转调试并开始进行生产设备的搬入及安装调试，目前正在进行生产设备的二次配管配线的施工，并将陆续开始全产

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加速度的全新维度：博世推出全球最小的可穿戴和耳穿戴设备用 MEMS 加速计

易于集成，具有语音活动检测功能全球最小尺寸的 MEMS 加速计：1.2 x 0.8 x 0.55 mm³ 语音活动检测功能可为耳穿戴设备节省电量，并延长电池寿命多种先进功能使其易于集成至便携式产品中美国内华达州拉斯维加斯/德国罗伊特林根——耳穿戴设备、智能腕表和其他便携式消费产品空间非常宝贵，所有组件的尺寸都必须尽可能小。与此同时，原始设备制造商要求即插即用步进计数器和其他传感器搭载内置功能，无需繁琐的应用知识即可轻松集成。为了应对这些挑战，Bosch Sensortec 发布了全球最小的 MEMS 加速计 BMA530 和 BMA580。这两款设备都具有内置功能，便于集成。BMA530 通过计步器跟踪

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ADI公司推出业界最高性能的MEMS麦克风

ADI 最新推出 MEMS 麦克风系列产品 —— ADMP421 与 ADMP401 。尽管集成语音、音乐与视频的电子设备的数量在不断增加, 但这些手持式电子产品的声音质量却未能达到消费者的预期。以提供高保真音频技术而被音响爱好者所熟知的ADI公司最新推出的麦克风产品具有高保真音/视频回放、会议召集、TIA-920兼容VoIP、语音识别及其它功能。ADI公司实现了音频应用与MEMS（微机电系统）技术的完美结合，设计出新款麦克风系列产品，具有大于61 dB（A-weighted）的业界最高信噪比（SNR），而目前蜂窝电话中最高质量的声音仅为55 dB。新的全向输入麦克风可提供数字输出或模拟输出，在100 Hz到超过15k

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