HMI产品在真空镀膜机设备上的应用-电子工程世界

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一、项目概述

该真空镀膜机设备有限公司是一家专业生产真空镀膜设备的企业，通过引进和消化国内外镀膜设备的先进技术，在产品的设计、制造方面积累了丰富的实践经验。该系统是采用SIEMENS S7 312C的CPU、昆仑纵横的TPC150TC-h和TPC070TD-e的触摸屏和步进电机控制器。可在硅片、陶瓷、玻璃、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物、以及金属等材料表面镀制Al、Au、Cr、Ti、Ni、Cu、W、SiO、各种金属、非金属、单层、多层膜。

本产品为全自动化设备，该设备通过对真空过程、工作压强、功率加载、射频电源匹配、气体流量及工艺过程的全自动控制，使工艺重复性、稳定性、可靠性得到有效的保证。

系统控制点数统计:

数字量输入 16点

数字量输出36点

模拟量输入 14点

模拟量输出 5点

二、控制特点

采用MPI总线和西门子312C进行通讯，通过对软、硬件相互配合的互锁、智能监控、在线状态记忆、断点保护等设计，结合各种保护装置，使设备的安全性、可靠性得到有效保证。在触摸屏上可以直接设定步进电机的速度，提高了控制精度。本设备的数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发和生产平台。使触摸屏的内置配方功能将生产不同的设定参数输到触摸屏永久保存起来，可以通过调用不同的配方来生产不同的产品，这样在生产不同产品时不用再繁琐的调整参数，方便快捷。

使用触摸屏完备的信息提示系统来显示各种设备信息，使得系统监控查询轻松便捷。

三、触摸屏功能

1. 公司简介

2. 真空系统控制

3. 电子束控制

4. 主牵引和副牵引单动连动调节

5. 热蒸发控制

6. 工艺配方控制

7. 报表输出

8. 报警查询

四、系统构成图

五、系统一次试机成功，运转正常，操作便利，各种监控信息图文并茂一目了然，由于有快捷的信息提示和丰富详实的帮助信息，延长了设备无故障工作时间，同时缩短了故障隐患的排查时间，减轻了劳动强度，获得用户的好评。