三星推出新工艺，7nm工艺将上EUV极紫外光刻-电子工程世界

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Intel虽然一再强调自己的xxnm工艺才是最精确的，比如同样标称10nm，自己要比三星、台积电的领先整整一代，但是没办法，人家的脚步要快得多。今天，三星电子又宣布了新的11nm FinFET制造工艺“11LPP”(Low Power Plus)，并确认未来7nm工艺将上EUV极紫外光刻。

三星11LPP工艺不是全新的，而是14nm、10nm的融合，一方面采用10nm BEOL(后端工艺)，可以大大缩小芯片面积，另一方面则沿用14nm LPP工艺的部分元素。

三星于2016年10月投产10LPE(10nm Low Power Early)，并已准备好即将投产10LPP(10nm Low Power Plus)，主要为智能手机制造芯片，14nm工艺则针对主流、低功耗和紧凑型芯片。

下一步，三星还会增加14LPU、10LPU版本。

11LPP工艺将填补三星14nm、10nm之间的空白，号称可在同等晶体管数量和功耗下比14LPP工艺提升15%的性能，或者降低10%的功耗，另外晶体管密度也有所提高。

三星计划2018年上半年投产11LPP工艺。

未来，三星还一路准备了9nm、8nm、7nm、6nm、5nm工艺，其中7nm 7LPP版本会全面融合EUV极紫外光刻，确认2018年下半年试产。

另有报道称，在那之前的明年上半年，三星会首先在8LPP工艺的特定层上使用EUV。

三星表示，2014年以来，已经使用EUV技术处理了接近20万块晶圆，取得了丰硕成果，比如256Mb SRAM的良品率达到了80%。

关键字：7nm EUV 引用地址：三星推出新工艺，7nm工艺将上EUV极紫外光刻

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