晶片制造商已经采用应力来改善n型与p型电晶体的电子与电洞迁移率,这种方法能产出性能更高的元件,但在过去被认为是有其极限的,而采用如化合物半导体层或是碳薄片等特殊材料,被视为是再次提升电晶体与IC性能的下一步。
而现在,来自多所欧洲研究机构与大学(Ecole Polytechnique、CNRS、Institut d'Electronique, de Microe'lectronique et de Nanotechnologie与University of Geneva)的研究人员已经证实,p型矽能在更高的应力之下展现比过去所认为更高的性能。
根据研究人员表示,虽然n型矽的传导性会在45%的零应力值(zero-stress value)时达到饱和,但p型材料的传导性就如同预期,在甚至高于预测极限值的3 GPa (gigapascal)的单轴饱和(uniaxial saturation)之下,都没有出现明显的传导性饱和。
原本的理论预测值指出,电晶体的性能增益会在施加1GPa压缩应力时达到平衡,这是今日之制程工程师生产商用应变矽元件时所能达到的水准,也是为何在该技术上的进一步投资不被认为是有价值的,至少到目前为止。
研究人员观察发现,在应力超过3GPa的情况下,p型矽晶圆中并没有发生传导性饱和的现象;而该机械应力值大幅超越预测的p型矽传导性饱和起始值;研究人员也指出,这样的观察结果说明了全频电子结构计算方法(full band electronic structure calculations)的使用,也暗示了对应变矽技术的进一步投资是合理的。
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推荐阅读最新更新时间:2024-05-03 12:07
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