10月18日上海报道,华虹集团旗下华力二期(华虹六厂)生产线今日正式建成投片,首批12英寸硅片进入工艺机台,开始28纳米芯片产品制造。
此次投片由全国政协原副主席、华虹集团首任董事长胡启立,上海市委副书记、市长应勇,工业与信息化部副部长罗文,上海市副市长吴清共同启动。
华虹六厂是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资 387 亿元人民币,将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖 28-14 纳米技术节点,项目计划于 2022 年底建成达产。值得一提的是,今年五月该生产线才举行机台搬入仪式,宣示首台荷兰光刻机大厂ASML的NXT1980Di光刻机到位。
与此同时,这条坐落于浦东康桥的华力二期12英寸集成电路生产线,是列入国家集成电路产业生产力布局规划中的重点芯片生产线,也是“十三五”期间上海市重大产业项目之一,连续两年被列入上海市重大工程。该线是目前国内工艺最先进的大规模生产线,是目前国内单体净化厂房面积最大的代工生产线,是国内同期在建的12英寸生产线中建设速度最快的项目,也是国家“910”工程规划布局中最早投产的重点生产线。
华虹集团党委书记、董事长张素心
在投片大会上,华虹集团党委书记、董事长张素心在介绍项目建设情况汇报时强调,华力二期项目在市区两级政府的全力支持下,实现了“当年规划、当年启动、当年开工”。2016年12月30日开工后,各参建方坚持“安全是前提,质量是基础,进度是关键”的原则,在21个月内使该地块从村庄农田转变为先进的集成电路制造工厂的同时,以华力一期(华虹五厂)成熟产线为依托,并行推进工艺研发、人力资源准备等工作,确保了该生产线工艺串线的成功。未来几年,该生产线将从目前的月产能1万片逐步爬坡到4万片月产能,制造工艺也将达到14纳米。华力二期生产线的芯片产品将覆盖移动通信、物联网、智能家居、云计算、CPU以及人工智能等各领域应用,进一步满足国内市场对中高端芯片产品的需求。
工信部副部长罗文致辞表示,集成电路产业是支撑国家经济社会和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,特别是在当前的形势下,发展集成电路的战略意义进一步突显。据统计,2017年我国集成电路产业销售额已达到5400亿元,5年来实现规模翻番,年增长超过20%。上海是我国集成电路发展的一面旗帜,形成了集设计、制造、封装、材料、装备配套服务于一体的完整集成电路产业链。特别是近年来,上海充分发挥政策产业人才区位的优势,伫立打造国内一流的集成电路产业区,取得了显著成效。
上海市副市长吴清致辞表示,近年来,上海先后启动了华力二期、中芯南方、中国电子特色工艺等一批集成电路重大项目建设,2017年上海集成电路产业规模达1200亿元,约占全国的20%。为进一步完善上海集成电路产业体系、构筑上海制造的新优势,市委市政府组织编制了上海市集成电路产业创新发展总体方案和三年行动计划。力争通过三年建设到2020的集成电路产业整体规模突破2000亿元,其中设计业产品进入7纳米及以下,达到世界一流水平;制造业量产工艺力争达到10-7纳米,初步建成技术先进、安全可靠自主可控的产业体系,并通过长三角配套协作达到区域性的集成电路产业集群高地。
除此之外,上海市各有关方面领导、国家集成电路产业投资基金、各金融机构以及来自于全球的供应商和客户等共同出席了华力二期生产线的投片大会。
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