赛微电子：ASML目前是公司MEMS业务的前十大客户之一

 6月15日，赛微电子接受投资者提问时表示，公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，ASML目前为公司MEMS业务的前十大客户。

目前，赛微电子主营业务包括半导体与特种电子两块，其中半导体业务近年来所占份额逐步扩大，也已成为公司未来的战略发展方向。

赛微电子称，MEMS是集成电路中的一种特色工艺，并不单纯追求线宽，而是注重芯片的功能性，精度在250-1000纳米之间，公司是全球领先的纯MEMS代工厂商，MEMS技术达到国际领先水平，当前正在北京建设规模产能，期待能够为国产替代贡献一份自己的力量。

据了解，目前赛微电子北京MEMS产线基地厂房建设接近尾声，主厂房及支持层区已接近完工；动力厂房各功能系统已安装到位；大宗气站与化学品库已建设完毕；办公楼层与倒班公寓已启动装修；一期产能所需洁净室已准备就绪，一期产能所需设备均已入厂，厂务系统已开始运转调试并开始进行生产设备的搬入及安装调试，目前正在进行生产设备的二次配管配线的施工，并将陆续开始全产线的厂务系统及生产设备的运转调试。

赛微电子董事会秘书、副总经理张阿斌表示，若后续进展顺利，北京MEMS产线的一期1万片/月产能预计将在今年第三季度建成并投入使用。后续产能安排取决于市场需求及产线运营情况。

在设备采购方面，赛微电子北京MEMS产线的厂务系统设备及一期产能所需工艺制造设备均已完成采购，全部完成了清关手续并均已搬入工厂并正在加紧安装。张阿斌称，北京MEMS产线的设备主要从主要从荷兰、美国、日本等知名半导体设备厂商采购，因为MEMS是集成电路的一个专业分支，国内专门供应商较少，同时作为公司在本土建设的第一条商业规模量产线，为确保产线能够尽快投入运营并加快产能及良率爬坡，公司的基本思路是在工艺参数、设备配置等方面完全复制瑞典Silex8英寸产线，因此厂务系统设备国内外采购均有，比较均衡，有一部分是属于合资厂商或外资厂商的境内公司；但一期工艺制造设备目前从数量和金额上看均是以海外采购为主，今后公司可以根据实际情况逐步提高国内设备的采购比例。