9月17日,2020第23届中国集成电路制造年会暨广东集成电路产业发展论坛盛大开幕。上海华虹宏力半导体制造有限公司执行副总裁周卫平发表了以《双核引擎 绿色智造 赢芯未来》为主题的演讲。
“8+12”、“IC+Power”双核引擎
华虹集团是以集成电路制造为主业,拥有8+12英寸生产线先进工艺技术的企业集团。华虹集团旗下华虹宏力是全球领先的特色工艺纯晶圆代工企业。周卫平表示,华虹宏力立足于8英寸+12英寸、“IC+Power”发展战略,通过这两个引擎推动业务发展壮大,实现业务增量。
据周卫平介绍,华虹集团在全球集成电路晶圆代工厂商的排名中,从2016年的第七名,晋升至2017年的第六名,2019年首次进入第五名。
“在制造基地布局方面,华虹集团的8英寸产能主要在金桥基地和张江基地,目前8英寸的合计月产能是17.8万片,而12英寸的月产能是6万8千片。”周卫平表示,在过去的一年中,华虹集团12英寸的产能获得了较大提升。
全球第一座12英寸功率器件代工厂
华虹无锡项目是华虹集团融入长三角一体化、高质量发展战略,在上海市域以外,长三角布局的第一个研发制造基地。得益于华虹集团的一体化战略,依托华虹“全集团统筹资源,大兵团作战部署”的战略,发挥“8+12”的集群优势,一期项目(华虹七厂)飞速建成投片,成为全球首条12英寸功率器件的代工生产线,也是目前中国大陆最先进的12英寸特色工艺生产线。
“华虹七厂不是一个孤立的12英寸生产线,它是华虹宏力8英寸特色工艺生产线的持续延伸,确保公司在未来能够保持高水准的服务和丰富的产品线供应,满足客户对技术成长的需求。”周卫平指出:“我们顺应了天时、地利和人和,在目前的营商环境、政策资金优势,中国市场正在壮大的优势,以及我们员工、客户、供应链、产业链协同发展的背景下,得益于这些要素,我们获得了快速成长。”
对于华虹无锡12英寸项目的特点,周卫平用了四个“快”来总结。第一个快是建设速度特别快,华虹无锡项目于2017年8月举行签约仪式,2018年4月项目正式开工建设,2019年6月首批光刻机搬入,2019年9月17日工艺通线、生产线建成投片。从开工建设到建成投片仅用了17个月,华虹七厂刷新了业界建线“芯”速度。
第二个快是迅速形成了产能,华虹七厂加快推进产能建设和生产运行,已形成一万片的月产能,即将形成两万片产能。随着市场的向好,公司加快了12英寸产线的产能的扩进度张,“8+12”齐头并进,未来将提供更多的产能。
第三个快是研发速度快,华虹宏力把握到了“闭门研发、快速上量”的最佳时机。面对突如其来的疫情,研发攻坚不停步,集中精力突破多种工艺平台,研发速度也大幅提升。
第四个快是快速量产销售,华虹七厂自2019年9月17日启动投片仪式后,逻辑射频、嵌入式闪存、功率器件、图像传感器陆续实现产品交付,产能提升速度远超预期,2020年8月华虹七厂的月投入达到了一万片。
在质量体系建设方面,周卫平指出,华虹七厂顺利取得ISO 90001、ISO 27001认证,标志着华虹无锡质量和信息安全管理体系建设迈上新台阶。除此以外,汽车质量管理体系认证,有害物质认证以及其它安全环保认证预计都能在今年内完成。
持续深耕的全球功率器件领导者
周卫平表示,功率器件应用广泛,应用领域包括电动车、LED照明、云计算、新能源汽车以及绿色能源输变电等,市场需求持续增长。华虹宏力已经成为IGBT领域的头部代工厂乃至于全球功率器件领导者,未来还将持续深耕于功率器件领域。
回顾华虹宏力在功率器件领域的发展历程,2002年华虹宏力成立了国内第一条8英寸Trench MOSFET代工生产线,2011年,其第一代深沟槽超级结技术实现量产,同时第一条8英寸IGBT代工生产线实现量产,2020年12英寸功率器件已经实现量产。
“华虹宏力在功率器件领域是国内乃至于东南亚地区的最大的供货者。”周卫平表示,特别是在由超级结SJ和IGBT组成的高端功率器件占比快速上升,在2015年至2019年的销售额以及出货量的年复合增长率超过了50%。
在IGBT领域,华虹宏力是国内布局最早、最完善、最完整的全套IGBT薄晶圆背面加工工艺的企业,拥有业绩最先进的氢注入设备。
在超级结SJ领域,华虹宏力拥有自主独立的知识产权,采用深沟槽的工艺方案,形成独创的超级结MOSFET技术,引领行业发展创新,其功率密度、导通电阻等都达到了国际领先水平。
华虹宏力在功率器件制造领域拥有341项发明专利,其中有美国发明专利18项。
据介绍,华虹宏力代工的功率器件主要有三大类,第一类是DMOS/SGT,华虹宏力拥有多种工艺集成,比如沟槽、MOS管、底部厚栅MOS管,上下结构和左右结构的SGT管,并且有丰富的选择,在功率器件中集成各类的电路。
第二类是超级结SJ,也是华虹的独创技术,与国际最主流的结构完全不一样,但性能却可以形成抗衡,在过去几年中,超级结SJ的出货量和成长速度非常可观。
第三类是IGBT,华虹宏力是国内IGBT出货量最大的8英寸代工厂,并朝着缩小IGBT尺寸,饱和压降不断降低以及电流密度持续提高的方向持续深耕。华虹的IGBT业务从2014年起实现了快速增长。
在新能源汽车、风力发电、白色家电等市场需求的驱动下,超级结SJ和IGBT市场都将迎来快速成长期。周卫平表示:“我们会充分发挥12英寸更小线宽的特征,持续开发优化DMOS、SGT、超级结SJ、IGBT技术,加速进军高端功率器件的市场,8+12齐头并进,为客户提供更为充足的产能,深化产业链的合作。”
华虹宏力通过差异化的竞争,专注于嵌入式存储器、功率器件、模拟电路、射频以及传感器等细分市场,立足绿色智造,全力响应国家绿色发展战略,提供高品质的服务,实现环境友好和可持续发展。
周卫平指出:“在细分市场,我们要立足世界领先,抓住机遇,把握‘8+12’战略,做到人无我有,人有我精,融入长三角一体化,深耕特色工艺,在物联网、汽车电子、金融卡、MCU、高压功率等领域重点突破,取得持续发展。”
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