西湖大学“冰刻2.0”三维微纳加工系统雏形已经初现

据浙江在线报道，近日，西湖大学纳米光子学与仪器技术实验室突破“冰刻”三维微纳加工技术，“冰刻2.0”三维微纳加工系统雏形初现。

2018年，研究人员研发出“冰刻”系统，此次的“冰刻2.0”技术基于2年前完成研发的“冰刻”系统，有望改变传统电子束光刻的繁琐加工程序，形成一套“材料进、成品出”的全流程一体化、自动化微纳加工系统。

据介绍，研究人员把样品放入真空设备后，先给样品降温，再注入水蒸气。在零下140摄氏度左右的真空环境，水蒸气会在样品上凝华成薄薄的冰层。一方面水蒸气可以包裹任意形状、大小不拘的样品表面；另一方面，水蒸气也使得在脆弱材料上加工变成可能。对应光刻胶，研究团队给这层冰起名“冰胶”，给冰胶参与的电子束光刻技术起名“冰刻”。

当电子束打在冰层上，冰会气化，这样就能直接雕刻出冰模板，不需要像传统光刻那样用化学试剂清洗一遍来形成模具，从而规避了洗胶带来的污染，以及难以洗净的光刻胶残留导致良品率低等问题，可以极大地简化加工流程。

此外，仇旻表示，本质上“冰刻”仍属于电子束光刻。但它作为一种绿色且“温和”的加工手段，尤其适用于非平面衬底或者易损柔性材料，甚至为生物材料加工创造更多可能。