苏州高新区新签约了第三代半导体、MEMS传感器等项目

SiTime近日宣布，所有SiTime的MEMS振荡器和时钟发生器都将纳入终身质保范围。SiTime的独特质保通过保证SiTime公司的所有时钟元件均无缺陷，并且符合系统寿命规范，为客户提供了更大的保障。 SiTime公司营销执行副总裁Piyush Sevalia表示：“自2007年以来，SiTime已经销售了2亿片我们的零MEMS故障的硅MEMS时钟解决方案。SiTime产品的卓越品质和可靠性归结于两个独特因素——单晶硅材料和EpiSealTM 制造工艺。不像使用多晶硅和氧化物的制造商，SiTime用纯单晶硅构建了MEMS谐振器，这就确保了谐振器的性能不会随时间而改变。EpiSeal工艺通过退火，将MEMS谐振器封装在一个完

前 言  现代液压技术研究热点由静态特性向动态特性转变，以往的经验证明，静态特性很完善的系统，运行后时常会发生振动、噪音等问题，这主要是由于系统动态特性研究不到造成的。出于种种目的，国内外对管道动特性进行了许多研究，非定常流动的油液，由于其外部表现和内在机理的复杂性，直到现在仍有不少问题未能彻底解决。目前，许多液压系统的设计和分析只能按照定常流动进行，但实际上，系统中出现非定常流动的几率并不亚于定常流动，所以研究并提高传感器的动态性能对实现液压系统动态测量具有重要意义。  1、MEMS传感器结构  作者所在的研究组在前期应用压力梯度法和压力互相关法测量液压系统流量进行了理论和实验研究，取得了一定进展，在此基础上，提出这种

　　 MEMS 产业增长潜力巨大，而 MEMS 制造是产业持续发展的瓶颈还是将潜力兑现成现实的关键路径?据麦姆斯咨询报道，漫长的开发周期、繁多的制造平台、研发期间的用量少带来的高报价是阻碍新产品快速研发的主要绊脚石。了解 MEMS 制造的特殊特性，清楚众多生态系统的选择，将有助于您在面临挑战时发展路线清晰，从而更快速地开发出具有特色的新产品。下面就随嵌入式小编一起来了解一下相关内容吧。 　　MEMS器件种类繁多，要求不一。一种器件就是一套工艺流程，这是MEMS制造面临巨大挑战的根结所在。虽然单一的方法不适合所有公司，但利用不同公司专业知识形成生态系统是解决这些挑战的最佳途径之一。然而，整合生态系统是有困难的，因为整个供应链涉及多

     800个客户以及100种不同应用驱动此快速成长 利用全硅MEMS时钟技术方案对60亿美金时钟市场进行革命的领导公司SiTime Corporation今天宣布其MEMS震荡器、频率发生器、以及谐振器的累计出货量已达一亿颗。有超过800家的电子产品制造商在超过100类别应用的产品上使用了SiTime全硅MEMS时钟方案。 该公司CEO， Rajesh Vashist提到，SiTime利用其独特的MEMS以及仿真电路技术所设计制造的革命性、且在效能、规格组合弹性、可靠性等方面难以超越的产品，正在改变传统数十年历史陈旧的时钟产业。该公司CEO进一步说明，“我们以硅为基础的技术已大幅度超前石英产业所无法复制的效能。今天，

微机电 (MEMS) 技术在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长的MEMS应用。 MEMS本质上是一种把微型机械组件(如传感器、制动器等)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。一般芯片只是利用了硅半导体的电气特性，而 MEMS 则利用了芯片的电气和机械两种特性。 三维微电子机械系统(3D-MEMS)，是将硅加工成三维结构，其封装和触点便于安装和装配，用这种技术制作的传感器具有极好的精度、极小的尺寸和极低的功耗。这种传感器仅由一小片硅就能制作出来，并能测量三个互相垂直方向的加速度。例如为承受强烈震动的加速度传感器

基于MEMS的闪耀光栅数字微镜显示技术是一种全新的显示技术, 它的基本工作原理为：平行的复合白色光线以固定的入射角照射在闪耀光栅微镜阵列上，驱动电路驱动每个像素单元的闪耀光栅微镜偏转不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可见波长的光线经过成像镜头后形成彩色画面。 微镜结构设计的基本要求 闪耀光栅数字微镜显示技术的核心部件是闪耀光栅数字微镜。要达到便携应用和投影应用的目的，闪耀光栅数字微镜结构设计需满足以下基本要求。 尽可能减小显示单元的尺寸 为了得到准确的基色，要求入射的复合白色光线在微镜总像素尺度范围内保持平行，否则，由于入射光线的角度偏差，将导致画面色彩的偏离。当微镜总像素尺度较小时，容易得到理想的、具有较强

山东省提出，到2015年，存储器、金融IC卡、存储控制芯片、数字家庭、移动智能终端、电力电子、传感器等领域集成电路产品设计技术接近国际一流水平，电子设计自动化（EDA）工具和电路仿真及验证技术、集成电路用金丝、载带等材料技术达到国际一流水平。建成20-30家集成电路设计中心，重点培育和引进3-5家具有国际先进水平的集成电路芯片制造、封装测试和材料生产企业，建成两个国内有影响力的集成电路产业化基地。到2020年，存储器、金融IC卡、数字家庭、微机电系统（MEMS）等重点领域集成电路设计技术达到国际领先水平，重点产品广泛应用于国内重要信息系统。集成电路制造实现规模量产，重点集成电路材料和封装测试技术达到国际先进水平。 关于发展重点

　　在仿生推进机理的研究中，精确测量鱼类尾鳍拍动参数对于鱼类仿生推进机理研究及工程应用具有重要的意义；然而，目前研究者大多采用分析高速摄像机拍摄的图像获得参数的观测方法。这种方法受到环境与设备的限制，结果精确度较差。本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为国内首次利用MEMS器件进行的活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础，为机器鱼仿生推进设计理论提供支撑。 　　1 设计要求和系统结构 　　根据活体鱼类的生物特征和实验本身的特点，微惯性测量装置应该满足下列设计要求：体积小，质量轻，功耗低，采集频率和采集精度高，防水密封性能良好。为了实现这些需求，微惯性