晶瑞电材购得光刻机，KrF光刻胶量产导入已排上日程

行业周知，光刻机是光刻胶测试验证的重要平台，也是光刻胶实现量产化的必要条件；而在当前的全球半导体产业形势下，国内半导体光刻胶厂商能够买到光刻机更显得弥足珍贵。

12月8日，晶瑞电材对外披露，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已经到位5台光刻机。

目前，晶瑞电材KrF光刻胶已经完成中试，进入了客户测试验证阶段。这意味着，此次晶瑞电材新购得深紫外线KrF光刻机后，可以快速投建其KrF光刻胶产线，加速其KrF光刻胶量产化进程，也是其KrF光刻胶量产并导入晶圆厂的最后一步。

“现在晶瑞量产的光刻胶订单都是预订一空，各家客户都分一点产能，完全满足不了。”据集微网获悉，此次晶瑞电材购得的KrF光刻机，可以满足国产晶圆厂成熟制程的光刻工艺需求，而成熟产能又是晶圆产能短缺的“重灾区”，整个需求量空间巨大；目前晶瑞电材KrF光刻胶产线搭建进程顺利，预计将在半年内实现KrF光刻胶产线投产并导入客户，后续受益于国产晶圆厂新扩产能投产和替代周期，将会加速覆盖国内FAB厂8+12英寸产线。

今年以来，受国内晶圆厂扩产潮、信越断供等事件的持续影响下，国内光刻胶市场的产能供应远远小于实际需求，光刻胶已经连翻涨价。据集微网获悉，截至目前，国内光刻胶市场产能仍处于供需紧张的局面，不少国产光刻胶厂商今年已经涨价超50%，晶瑞电材的光刻胶目前亦处于供需紧张带动涨价的现状。

据研究机构统计，十三五期间，国内光刻胶市场实现年均14.5%的增长，五年CAGR达12.12%，2020年全国光刻胶市场规模达到176亿元，其中半导体光刻胶为24.8亿元。随着未来五年中国大陆新建至少29座晶圆厂，光刻胶作为晶圆生产的关键材料，市场需求也将持续增加。从全球不同制程半导体光刻胶的市场份额占比来看，ArF和KrF等更高端的光刻胶分别占到了全球光刻胶市场份额的42%和22%，这也是我国光刻胶企业未来的主要竞争领域。

集微咨询从调研了解到，当前国产光刻胶厂商在客户层面已然发生逆转，现在晶圆厂对国产光刻胶的态度是可以评估测试，如果评估测试都符合要求，晶圆厂是愿意采购使用，这也助推国产光刻胶厂商加速突围，国产光刻胶产业也随之迎来了新的突破和机遇。

其中，晶瑞电材作为国产半导体光刻胶代表性厂商，公司i线光刻胶已实现供货中芯国际、合肥长鑫等国内FAB厂，KrF光刻胶完成中试，建成了中试示范线，且在去年斥巨资购买了ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机正加速推进ArF光刻胶的研发体系，再加之此次购得KrF光刻机之后，将有望快速形成KrF+ArF光刻胶的全面突破，充分受益于国产光刻胶产业新的机遇期。

集微咨询认为，随着国产KrF光刻胶厂商量产导入进程提速，预计在明年有望做到规模化量产应用，进而取得一定的半导体高端光刻胶市场份额，国产半导体光刻胶核心玩家也将迎来实质的突破和成长。