ST公布针对AR眼镜激光束扫描应用的压电驱动MEMS反射镜-电子工程世界

近年来，MEMS 反射镜的采用迅速增长，涉及不同类型的应用。

激光束扫描 (LBS) 显示最具挑战性的应用之一是增强现实 (AR) 眼镜，因为它们需要高分辨率图像、小体积和低功耗。为了满足这些要求，MEMS 扫描仪正在转向压电驱动技术，这种技术可以在小芯片面积内实现高驱动力和高效率。

在ST日前公布的论文中显示，该公司正在加紧这方面的工作。ST展示了两个具有压电驱动的紧凑型 MEMS 反射镜：一个 27.5kHz 谐振反射镜 (MMR40100)，直径为 1.1mm，FOV（可视角）为 56°，以及一个准静态反射镜 (MML40100)，工作频率为 60Hz，反射面积为 2.45x1.44mm2，FOV为 32°。

两个镜子的工作电压<40V，并具有低功耗（<20mW）。为了实现镜子控制，惠斯通电桥配置的扩散压阻传感器集成在两个镜子中。

ST描述了 MEMS 设计的工作原理、制造过程、FEM 模拟以及在制造样品上获得的实验结果。两个镜子耦合在一起，可以实现 720p 显示模块，FOV 为 65 度，整个显示模块的体积占用<0.7cc，使该解决方案成为下一代 AR 眼镜最有前途的解决方案之一。

关键字：MEMS AR 引用地址：ST公布针对AR眼镜激光束扫描应用的压电驱动MEMS反射镜

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