研究人员致力低功耗MOMS技术,有望在医疗领域大显神通

　　Panchapakesan研究小组宣称已经通过采用MOMS-DLP(微光机械系统-数字光处理器)技术，解决了MEMS-DLP(微机电系统-数字光处理器)存在的功耗太大的问题。研究人员表示，MOMS的功耗足够低，能够满足空间探测的需要，并使场致发射显示器和生物医学的新应用成为可能。

　　“我们已经制成了许多微型机器人器件，如具有光学激励的微型钳子；我们认为，MOMS也可以被用于激励显微外科工具，”美国特拉华(Delaware)大学电子工程教授Balaji Panchapakesan说。

　　该技术利用标准的CMOS工艺步骤制成碳纳米管薄膜，从而进一步加工出300x30x7um的光学激励悬臂。

　　“我们可以在常规的CMOS芯片上使用我们的纳米管薄膜，这些薄膜透明或不透明，可以制作在硅、二氧化硅或氮化硅晶圆之上，”Panchapakesan说，“然后，我们可以利用光刻和蚀刻工艺来定义MOMS激励器，这跟制作MEMS器件的工作过程一样，但是，采用换成了纳米管薄膜。”

　　首先，通过真空筛选工艺把130nm厚的纳米管层制作在覆盖了氧化膜的硅晶圆上，然后，经过退火之后，采用标准的光刻和蚀刻工艺步骤，把纳米管薄膜制成重量轻的、光学激励的悬臂阵列。当这些悬臂的基座被808纳米波长、170mW半导体激光照射击的时候，悬臂就会偏离23um，研究团队透露说。纳米管发挥激励器的精确作用机制现在还不清楚，但是，Panchapakesan正在努力证实一种假设，“我们认为其主要机制是用于激光引起了电荷的分离，”他说，电荷“沿着那米管的一个方向移动，感应出能伸长碳-碳化学键的静电力，从而激励悬臂的偏离。”他补充说，“热膨胀也是一个贡献因素。”

　　Panchapakesan表示，退火最好在 75℃。此外，只有当纳米薄膜中的压力为零时，光刻才能成功。