8月8日,国家高新区MEMS研究院、清华大学机械工程学院产学研基地建设合作协议签约仪式在火炬大厦举行,清华大学机械工程学院院长尤政,市委副书记、市长周清利,市委常委、副市长王顶岐出席签约仪式。王顶岐在签约仪式上致辞。
王顶岐首先代表市委、市政府对国家高新区MEMS研究院的设立表示祝贺!他说,装备制造业一直是我市的主导产业,工业泵类、电机、中低速船用柴油机等重点产品具有很好的地域品牌和比较优势。今天,我们与清华大学机械工程学院共建国家高新区MEMS研究院,承担的科技攻关项目与淄博市在多个产业领域具有很好的合作前景。研究院的设立,必将推动MEMS的设计与仿真、材料与加工、封装与装配等技术与高新区,乃至淄博市关联产业的结合,带动仪器、仪表、医疗装备制造业等产业的技术提升。
王顶岐指出,我市一直将产学研结合和科技成果转化作为调整产业结构、提升核心竞争力的重要任务,此次与清华大学机械工程学院共建国家高新区MEMS研究院,希望双方坚持“发挥各自优势、实现互惠共赢”的原则,恪尽职责,完善制度,规范运作,高效合作,努力把国家高新区MEMS研究院建设成为科学研究、技术开发和科技成果转化的示范窗口和技术提升、产业升级的强大引擎。
关键字:MEMS
编辑:冀凯 引用地址:国家高新区MEMS研究院落户淄博
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瞄准先进工业感测应用 ST推出新型高精度MEMS传感器
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3-D轮廓测量中相位解包裹应用
在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中,常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量做精密测量 。目前显微干涉法凭借其高精度、高垂直分辨率、测量简单快捷、无损等优点,成为这类测量中最常用的手段之一 。
在使用相移显微干涉法对MEMS/NEMS结构表面进行测量时,先通过驱动电路驱动参考镜产生次波长量级的光程变化,即可由电荷耦合器件摄像机(CCD)和图像采集卡获得一组时间序列上的相关干涉图像,然后由干涉图的光强信息解算出被测表面的相位值,提取包裹的相位信息,最后通过一定的相
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一种MEMS光开关测量平台的设计与实现
1 引言
随着光通信技术的迅速发展,MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点,将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种,常见的静电驱动方式有:梳状电极、SDA(scratch drive actuator)、悬臂驱动和扭臂驱动等。悬臂和扭臂驱动的驱动电压高 于前两者,但结构简单、工艺上容易实现。在选取其微反射镜最佳工作状态时,需要电压、频率,占空比连续可调的方波信号为激励源。传统的选取方法需要示波器、脉冲信号发生器,直流稳压源三台仪器协调工作才能完成,并且存在诸多弊端,如:测量仪器成本高、操作繁琐、测试周期长、测量精度低等。而在本文介绍的测量
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SMIC:2009年第一季度开始量产MEMS元件
中国中芯国际(Semiconductor Manufacturing International,SMIC)已开始提供MEMS代工服务。这是笔者就MEMS代工业务采访该公司Director of Technology and Marketing, Silicon MEMS, Microdisplay & 3D IC负责人黄河(Herb Huang)时获悉的。(采访人:加藤 伸一)
——据悉,贵公司已明确了开始提供MEMS代工服务。
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博世仍为汽车MEMS市场龙头
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借力SiP/TSV技術 Sensor Hub整合MEMS传感器
Sensor Hub方案整合度將再大幅提升。微控制器(MCU)供應商正借重系統級封裝(SiP)和矽穿孔(TSV)技術,整合微控制器和多軸微機電系統(MEMS)感測器,以開發出尺寸更小的Sensor Hub方案,助力智慧型手機品牌商打造輕薄外觀且可支援更酷炫人機介面功能的產品。 意法半導體技術行銷經理李炯毅表示,微控制器整合多軸MEMS感測器,將成為未來Sensor Hub重要設計趨勢。 意法半導體(ST)技術行銷經理李炯毅表示,現階段智慧型手機的Sensor Hub主要係採微控制器與MEMS感測器分離的設計架構;然隨著手機功能不斷增加,可利用的印刷電路板(PCB)空間將日益吃緊,因而促使微控制器業者採用SiP
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前 言
现代液压技术研究热点由静态特性向动态特性转变,以往的经验证明,静态特性很完善的系统,运行后时常会发生振动、噪音等问题,这主要是由于系统动态特性研究不到造成的。出于种种目的,国内外对管道动特性进行了许多研究,非定常流动的油液,由于其外部表现和内在机理的复杂性,直到现在仍有不少问题未能彻底解决。目前,许多液压系统的设计和分析只能按照定常流动进行,但实际上,系统中出现非定常流动的几率并不亚于定常流动,所以研究并提高传感器的动态性能对实现液压系统动态测量具有重要意义。
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光通讯中的MEMS(微机电)技术
本文将向各用户简要介绍应用于光纤通讯领域的微电机芯(MEMS)技术。希望通过本文的介绍能让读者对其技术特征和发展趋势有初步的了解。
一、概述
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1)微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
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