Bosch Sensortec 发布集成MCU的微机电传感器

中国，2018年5月10日  – 横跨多重电子应用领域的全球领先的半导体供应商、世界最大的消费级MEMS运动传感器供应商 意法半导体（STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM）将于今年面向工业市场推出全新的高稳定性MEMS传感器，履行其推动先进自动化和工业物联网（IIoT）市场发展的承诺。同时，公司还将为新产品提供不低于10年供货保证。 IIS3DHHC是2018年第一款亮相的新型传感器。作为一款高分辨率、高稳定性的3轴加速度计，即使长时间运行或处于温度变化很大的环境内，IS3DHHC也能够确保测量的精准度。该款产品主要适用于通信系统天线定位系统、保证建筑物和桥梁安全的结构健康监测（SHM）设

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量做精密测量 。目前显微干涉法凭借其高精度、高垂直分辨率、测量简单快捷、无损等优点，成为这类测量中最常用的手段之一 。 在使用相移显微干涉法对MEMS/NEMS结构表面进行测量时，先通过驱动电路驱动参考镜产生次波长量级的光程变化，即可由电荷耦合器件摄像机(CCD)和图像采集卡获得一组时间序列上的相关干涉图像，然后由干涉图的光强信息解算出被测表面的相位值，提取包裹的相位信息，最后通过一定的相

1 引言 随着光通信技术的迅速发展，MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点，将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种，常见的静电驱动方式有：梳状电极、SDA（scratch drive actuator）、悬臂驱动和扭臂驱动等。悬臂和扭臂驱动的驱动电压高 于前两者，但结构简单、工艺上容易实现。在选取其微反射镜最佳工作状态时，需要电压、频率，占空比连续可调的方波信号为激励源。传统的选取方法需要示波器、脉冲信号发生器，直流稳压源三台仪器协调工作才能完成，并且存在诸多弊端，如：测量仪器成本高、操作繁琐、测试周期长、测量精度低等。而在本文介绍的测量

中国中芯国际（Semiconductor Manufacturing International，SMIC）已开始提供MEMS代工服务。这是笔者就MEMS代工业务采访该公司Director of Technology and Marketing, Silicon MEMS, Microdisplay & 3D IC负责人黄河（Herb Huang）时获悉的。（采访人：加藤 伸一） ——据悉，贵公司已明确了开始提供MEMS代工服务。 　　我们从通过微细化以外的方法来发展半导体的“More than Moore”的角度进行MEMS的生产。由MEMS技术将光学部件和机械部件等集成在LSI上，使LSI成为不只是电子电路的

随着全球汽车市场下滑，汽车MEMS制造商的营业收入也每况愈下。市场调研公司iSuppli预测，该产业的价值链将发生重大的颠覆性变化。 iSuppli公司的数据显示，10家最大汽车MEMS厂商的营业收入紧随全球汽车生产下滑：2008年全球汽车产量比2007年减少6.6%，MEMS市场下降8.5%至16亿美元。有意思的是，10大MEMS提供商的销售额只减少5.89%，总计为153.3万美元，彰显该市场的集中程度。 该市场的龙头厂商是德国博世(Bosch)，过去三年保持霸主地位，把竞争对手抛在了身后。但是博世过去一年的汽车MEMS销售额也下降了6.13%，从4.57亿美元降至4.29亿美元。其销售额是排名第二的Denso的两倍多。iSup

         Sensor Hub方案整合度將再大幅提升。微控制器(MCU)供應商正借重系統級封裝(SiP)和矽穿孔(TSV)技術，整合微控制器和多軸微機電系統(MEMS)感測器，以開發出尺寸更小的Sensor Hub方案，助力智慧型手機品牌商打造輕薄外觀且可支援更酷炫人機介面功能的產品。 意法半導體技術行銷經理李炯毅表示，微控制器整合多軸MEMS感測器，將成為未來Sensor Hub重要設計趨勢。 意法半導體(ST)技術行銷經理李炯毅表示，現階段智慧型手機的Sensor Hub主要係採微控制器與MEMS感測器分離的設計架構；然隨著手機功能不斷增加，可利用的印刷電路板(PCB)空間將日益吃緊，因而促使微控制器業者採用SiP

前 言  现代液压技术研究热点由静态特性向动态特性转变，以往的经验证明，静态特性很完善的系统，运行后时常会发生振动、噪音等问题，这主要是由于系统动态特性研究不到造成的。出于种种目的，国内外对管道动特性进行了许多研究，非定常流动的油液，由于其外部表现和内在机理的复杂性，直到现在仍有不少问题未能彻底解决。目前，许多液压系统的设计和分析只能按照定常流动进行，但实际上，系统中出现非定常流动的几率并不亚于定常流动，所以研究并提高传感器的动态性能对实现液压系统动态测量具有重要意义。  1、MEMS传感器结构  作者所在的研究组在前期应用压力梯度法和压力互相关法测量液压系统流量进行了理论和实验研究，取得了一定进展，在此基础

　　本文将向各用户简要介绍应用于光纤通讯领域的微电机芯（MEMS）技术。希望通过本文的介绍能让读者对其技术特征和发展趋势有初步的了解。 　　 　　一、概述　　 　　MEMS技术的英文全称是: Micro-Electro-Mechanical Systems，一般也称作微机电系统技术，其含义是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS技术的特点主要是：　　 　　1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。