弥补国内传感器产业生态链缺口

在上海嘉定工业区，近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线上，正“跑”着数十片晶圆。

由工研院建设的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动，填补了我国微机电系统智能传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白。

8英寸研发中试线的启动，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的“超越摩尔”生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

中国科协副主席、中国科学院院士王曦解释说，“超越摩尔”指的是不再只遵循摩尔定律，在半导体工艺尺寸上越做越小，而是在成熟的工艺生产线上，研发非数字、多元化半导体技术与产品。“超越摩尔”将不再局限于依靠尺寸改变去推进集成电路制程节点，更重视材料、工艺、结构等多维度的创新，从而实现传感器等其他新兴技术领域“换道超车”。

传感器，位于整个物联网的基础层，是数据采集的入口，也是物联网的基石。然而代工厂不愿接，小批量中试无处可做，成为我国传感器等微机电系统研发机构的一大共性难题。8英寸研发中试线运营副总裁、厂长游家杰表示，当前我国约60%的传感器都是靠进口，缺口很大，尤其是微机电系统智能传感器，几乎全部依赖进口。

目前，在“超越摩尔”领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的上海微技术工业研究院8英寸线是公认的领先技术。据相关人士透露，整个生产线建造投入近10亿元，目前一期3000平方米已投入使用。

据悉，8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

游家杰介绍，新建成的研发中试线，目前规定产能是每月生产3000片左右晶圆，后期将达到5000片。“我们可以支撑用户从几百片到上千片的产能需求，小规模订单先在中试线上孵化，一旦前期市场测试成功，就可以把大批量订单转移给大型代工厂，开始规模量产。”