【测试方案】集成电路测试技术研讨会方案展示

集成电路测试研讨会已于11月2日至3日在深圳隆重举行，应邀参会的有国内集成电路领域处于技术研发前沿的各大高校、科研机构、军工研究所。行业内各专业大咖齐聚一堂，共同商讨集成电路的发展方向。

罗德与施瓦茨（以下简称“R&S”公司）在集成电路测试领域有身后的积累，有幸被邀请参加此次展会。R&S在此次展会上展示了如下测试解决方案。

为了满足射频前端DUT再晶圆环境下的测量要求，R&S推出ZNA高端矢量网络分析仪，以及频率在67 GHz以上的扩频模块。ZNA通过手动、半自动和全自动探针台系统解决晶圆接触问题，系统包括热控制、高频探针、探针定位器和校准工具等。

对整套测试系统进行完全校准后，用户可以使用ZNA的所有测试功能。通用S参数测试可以表征滤波器和有源器件的特性；失真、增益和交调测试可以验证功率放大器的特性。该套联合测试系统还可对混频器工作带宽内的变频相位进行测量。经过完全校准的测试系统允许用户直接从VNA获得所有测试结果，无需进行后处理，因为校准数据已经直接应用于VNA之中。

ZNA配置：

ZNA系列矢量网络分析仪一业界高质量的矢量网络分析仪，精确测量有源和无源器件，且可内置4个相参源，是唯一可测量变频器多级变频的矢量网络分析仪。

  -10 MHz至26.5/43.5/50/67 GHz(可扩频至1.1THz)

  -动态范围:170dB

  -可集成4路相位相参的信号源

Cascade/MPI探针台：

根据实际需求和预算选择品牌、型号、标准软件、晶圆探头、阻抗标准基片校准标准件等。

  -可选自动或半自动或手动型号

  -可选高低温配置

R&S® SMA100B射频和微波信号发生器是所有需要及其纯净模拟信号场合的首选。在维持最高输出功率的同时提供最纯净的输出信号，频率范围可从8kHz扩展到67GHz，具有优异的单边带噪声，几乎没有宽带噪声，最大输出功率超过30dBm宽频率范围。

R&S® FSW具有优良的相位噪 声、高无杂散动态范围、快速测量和操作方便等特点，提供8.3 GHz内部分析带宽和800 MHz实时分析带宽，可同时测量多种标准。

结合SMW和FSW，可以灵活满足接收，发射以及整体的测试要求，操作简单便捷，是无线收发系统测试的得力助手。

产品亮点：

￨高端信号与频谱分析仪和相位噪声测试仪集于一体

￨互相关技术和近载波性能相结合，即使是脉冲信号也能确保灵敏的相位噪声测量

￨频率范围介于1MHz至50GHz，使用外部混频器时高达500 GHz

￨用于测量残余相位噪声(包括脉冲信号噪声)的内部源

￨同时测量相位噪声和幅度噪声

关键性能：

￨频率范围从1 MHz到8 GHz/26.5 GHz/50 GHz，使用外接谐波混频器可以达到 500 GHz

￨使用互相关技术和噪声极低的基准源，相位噪声测量的灵敏度高

  -172 dBc/Hz ，1 GHz载频频率，10 kHz频偏

  -158 dBc/Hz ，10 GHz载频频率，10 kHz频偏

￨同时测量幅度噪声和相位噪声，一键式测量方法完成脉冲信号的相位噪声测试

￨内置低噪声信号源用于附加相噪和脉冲附加相噪测试

￨单表实现高性能相噪分析和高端信号与频谱分析

￨可以在8 GHz的范围内分析跳频信号的瞬态特性

R&S® RTP将一流的信号完整性和出色的波形捕获率相结合，专用波形捕获与处理的ASIC芯片使其具备领先的750000波形/秒的波形捕获率。高精度的数字触发系统能够捕获微弱的信号异常，并提供领先的高达16Gbps的硬件时钟回复（CDR）能力来分析时钟嵌入信号。

  -带宽高达16 GHz

  -采样率40 GSa/s

  -波形捕获率高达75万波形/秒

  -存储深度高达3 Gpts

  -实时去嵌功能

  -实时眼图功能

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