万业、微电子所和芯鑫强强联合共同打造全新半导体设备

上市公司上海万业股份（以下简称“公司”）发表公告，公司将与中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)、芯鑫融资租赁有限责任 公司(以下简称“芯鑫租赁”)签订《关于合资设立集成电路装备集团之合作 备忘录》。装备集团主营业务领域为集成电路产业装备、泛半导体产业装备研发、制造和销售。

万业股份指出，他们与微电子所拟共同牵头发起设立集成电路装备集团有限公 司(以下简称“装备集团”)，项目总投资15亿元，其中，微电子所与万业企业共同出资8亿元，芯鑫租赁拟为装备集团提供意向性融资额度5亿元，具体以决策审批结果为准。

三方强强联合

据半导体行业观察了解，这三方在半导体设备方面，都有着其领先的优势。

首先看万业股份方面，作为组建装备集团的牵头方，他们去年年底刚完成了对集成电路优质标的凯世通的收购，从而切入了集成电路核心装备产业之一的离子注入机领域。官方资料吸纳是买，上海凯世通半导体股份有限公司成立于2009年4月，由中组部“千人计划”入选获得者及国家特聘专家——陈炯博士为首的五位世界一流离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台。资料显示，凯世通的产品主要应用于太阳能、集成电路和AMOLED显示三大领域。

在太阳能领域，凯世通是目前全球仅有的3家太阳能离子注入机厂家之一，市场占有率为全球第一。根据万业方面披露，凯世通太阳能离子注入机设备对应是N型PERT -TOPCon-TOPCon IBC技术路线。

在集成电路领域，凯世通的12英寸集成电路离子注入机已完成研发，并已获得多家集成电路企业的订单，打入了国际厂商的采购体系。据披露，凯世通正在全力开发针对IGBT领域的先进离子注入机产品，打造IGBT全系列注入工艺平台的计划，填补国内在该领域的空白。

由上所述，我们看到了万业股份在整个半导体设备方面的实力。

其次看微电子所；他们从诞生起就是中国半导体与集成电路事业的开创者与开拓者，也是这个装备集团的主要参与方。经过五十多年的发展，中国科学院微电子研究所已经成为国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，也是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位。

中科院微电子所旗下拥有众多集成电路装备领域优质企业，其中全部都是承担国家02专项的关键装备头部公司。如提供电子束图像检测与制程优化系统的中科晶源；提供单片晶圆表面湿处理设备、微量化学污染检测服务的无锡华瑛；提供集成电路光学检测设备且已取得国内顶级芯片制造厂商批量订单的中科飞测；提供中高端集成电路测试设备且年装机数量呈爆发增长的上海御渡，提供磁存储器刻蚀机、ICP-CVD、金属刻蚀机等的鲁汶仪器等。

他们与万业股份的牵手可谓强强联合。

再看一下芯鑫租赁；芯鑫融资租赁有限责任公司是由国家集成电路产业投资基金（简称“大基金”）牵头，联合产业龙头企业共同设立的一家专注于集成电路行业融资租赁公司，于 2015年8月27日正式注册成立，注册资本106.4994亿元。公司成立三年来，实现了跨越式发展，总资产达450亿元，其中约70%投向了集成电路半导体领域，与大基金相互协调，有效改善了我国集成电路产业的投融环境。

公告也表示，作为大基金发起设立的集成电路行业专业融资租赁公司， 芯鑫融资租赁承担了推动国产装备应用的战略性使命，将发挥其在集成电路装备融资租赁领域的专业优势和业务网络，与装备集团形成战略性合作伙伴关系，通过融资租赁、保理等多种模式，为装备集团提供意向性融资额度 5 亿元， 具体以决策审批结果为准。同时，芯鑫租赁还将积极搭建装备集团和国内集成电路企业用户之间的桥梁，促进国产装备使用率的进一步提升。

为中国半导体设备崛起而奋斗

从半导体产业现状看来，万业股份、中科院微电子所和芯鑫租赁有其积极的意义所在。

众所周知，集成电路产业中，半导体设备是当中一个不可或缺的重要角色。但和很多其他产品一样，这是一个国外厂商近乎垄断的市场。

据光大证券的报告显示，半导体设备市场呈现集中度高的特点。报告指出，现在的半导体设备市场主要由美日荷厂商垄断。总体上看，半导体设备市场 CR10 超 60%，前五名分别为应用材料、拉姆研究、东京电子、阿斯麦和科磊半导体；局部上看，每一大类设备市场均呈现寡头竞争格局，而前两名厂商占据一半以上的市场份额。

反观中国半导体设备市场，光大证券进一步指出，根据中国电子专用设备工业协会数据，预计 2018 年国产泛半导体设备销售额约 109 亿元，但真正的 IC 设备国内市场自给率仅有 5%左右。且在未来几年，国内对半导体设备需求也正在呈现快速增长局面。

根据 SEMI 数据，2017 年中国大陆半导体设备销售额 82.3 亿美元，同比增长 27%，约占全球的 15%，预计 到2020 年占比将超过 20%，约 170 亿美元。

全球半导体设备销售额及增速预测

在这种情况下，发展本土的设备厂商势在必行。而万业、微电子所和芯鑫正在执行的正是一个值得期待的尝试。