优贝克(Ulvac)营业经理黄圣棕表示,由于AMOLED面板必须藉由蒸镀技术均匀涂布发光材料,才可使产品发挥出高饱和度、广视角以及高解析度等优势特性,因此,镀膜完成度较高的设备将是面板厂优先采购的因素之一。
黄圣棕进一步指出,过往传统的镀膜设备大多是采用单点蒸镀源技术,其材料利用率仅5%,换言之,100公克的有机发光材料进入使用单点蒸镀源技术的设备后,将只有5公克可真正被应用到AMOLED面板中,而剩下的95%材料则在制程中被浪费掉,对面板厂而言无疑是增加成本。
为解决材料利用率过低的问题,优贝克新型镀膜设备--ZELDA采用线型蒸镀源技术,可将材料利用率大幅提升至20%,并可均匀地将有机发光材料镀在AMOLED面板上,提升面板厂前段制程的良率。
除线型蒸镀源外,ZELDA更可同时作为面板厂进行试产与量产之用,可对应2~3.5代线各种基板尺寸,为客户提供更高的产能利用弹性。黄圣棕补充,由于AMOLED量产良率至少要达75%才有获利的空间,因此,面板厂若使用可同时兼具试产与量产能力的设备,将可大幅减少设备投资成本。
另一方面,目前AMOLED蒸镀设备亦分为枚叶式与In-line两种,设备供应商将依照客户量产能力与需求提供不同选项产品。黄圣棕分析,枚叶式由于真空腔各自独立,面板在镀膜时须以机器手臂夹取,导致传动速度较慢,所以产能较低,但通常良率较高;In-line则是将真空腔串联在一起,面板在镀膜的过程中毋须经过机器手臂传动,产能较高且省时,但缺点则是良率较差。
然而,无论是采用何种方式生产AMOLED面板,最重要的还是面板厂本身对整体流程的掌握度与经验。黄圣棕认为,影响AMOLED面板良率的因素相当多,除前段的镀膜外,后段封装过程亦相当重要,因此生产经验及对供应商的掌控度要够高,才有机会进一步提升良率。
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