半导体设备加速国产替代，核心零部件依赖进口成为隐忧

近年来，受中美贸易战及技术禁售等影响，半导体设备国产替代趋势明显。不过，随着美国技术禁令的持续升级，国产半导体设备核心零部件普遍依赖进口的情况，却成为国内设备企业发展路上最大的隐患。

数据显示，中国大陆芯片制造目前占全球份额的10%左右，而半导体设备的全球市场份额只有2%，设备关键零部件的全球市场份额接近于0。

在中美贸易战的背景下，如何应对美国贸易限制措施的进一步升级成为国内半导体企业的必修课。

半导体设备国产替代加速

近期，长江存储、中芯绍兴、华力微等近年新建的晶圆厂纷纷步入扩产阶段，并开启新一轮的规模化采购设备。在此背景下，国内半导体设备企业迎来了巨大市场空间，也有利于国产设备在生产中持续优化，更快突破关键技术，提升产品性能。

据亚化咨询数据显示，长江存储（YMTC）共中标185台国产设备（指晶圆制造中使用的主要工艺设备，如光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备等，不包含泵、污染物处理、气体/液体注入系统等相关设备）。从逐年的数据来看，长江存储在2019年中标的国产设备呈爆发式增长，超过了2017年和2018年的总和。

图片来源：亚化咨询

亚化咨询指出，2020年1月至2020年7月15日期间，长江存储中标的国产设备已经达到45台。近期，长江存储针对刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备、热处理设备等，开启新一轮的大规模设备招标（包含第40批次及第41批次）。国产设备企业有望争取到更多的订单，预计2020年长江存储中标的国产设备将超过120台。

长江存储采购的国产设备数量正在逐年增加，国内其他晶圆厂也同样如此，另一家国内晶圆厂的高管也表示，公司正在尽可能提高设备和材料的国产化。

除晶圆厂外，后段封测厂商也正在积极导入国产半导体设备。

据一名半导体封测企业的员工表示，华为禁令升级后，国内半导体生产企业更加积极导入国产设备，在国内半导体设备尚未成熟的领域，也更倾向于进口日本、欧洲、台湾等地半导体设备，而尽量避免采购美国设备。

不过，半导体装备属于高精密的自动化装备，具有较高的技术壁垒，由于我国半导体设备产业整体起步较晚，与国外先进设备的制造水平存在明显差距。

一名从事半导体设备工作的业内人士对集微网表示，半导体设备的品类很多，目前国产设备主要打入应用到中低端的成熟工艺，且存在诸多问题需要持续优化，对于关键制程工艺，如高分辨率光刻、特殊功能性刻蚀、薄膜、离子注入、量测等等，还存在严重滞后或空白。封测方面同样如此，比如高端测试机、划片机、引线键合机等设备也要依赖进口。

虽然差距明显，但业内人士进一步指出，禁令升级也会加速国产半导体设备的性能提升和工艺拓展。

核心零部件依赖进口成隐忧

值得注意的是，尽管国产半导体设备正在加速导入国内生产企业，但国产设备的核心零部件却需要进口，这也导致国产半导体设备约70%的利润被国外核心零部件供应商所攫取。

在中美贸易战的背景下，利润对于国内设备厂商显然不是最重要的，如何应对美国贸易限制措施的进一步升级，才是国内半导体设备厂商需要提前防范的问题。

国产半导体清洗设备供应商至纯科技在互动平台上表示，当前制造业全球化分工高度精细，大部分厂商都会通过进口零部件来完成产品的生产，以光刻机为例，ASML向德国采购镜头，向日本采购机械臂，向美国采购光源，在荷兰本地完成设计与机体组装，采用的同样是进口核心零部件。对于公司的产品，由于国产零部件在表面处理、零件精度等方面与进口零件存在差距，使产品在良率上无法达标，因此公司目前核心部件以进口为主。与此同时，公司会在充分考虑成本效益的基础上，考虑零部件、材料的重要性与优先级，从力所能及的领域切入，逐步实施进口替代。与美国、日本、韩国相比，国内的半导体领域尚处于落后阶段，核心零部件依赖进口是国内半导体企业的普遍情况，中美贸易摩擦当前，国内的半导体企业都感受到了“卡脖子”的威胁，但不可否认，振兴国产芯片、实现原材料及零部件的进口替代公司作为众多国产半导体企业的一员，始终坚持以进口替代为己任，坚定推动半导体设备、材料、零部件的国产化。

另一名业内人士也表示，目前，国产零部件的附加值均不高，在先进制程方面，国产核心零部件几乎为0。为应对美国逆全球化，贸易战引发的供应链风险。目前国产零部件验证加速，关键零部件目前也开始慢慢使用国内厂商生产，不过稳定性和可靠性还得持续验证。

推进半导体设备实现零部件国产化，显然是解决国产设备的核心零部件依赖进口的根本问题，但这却并不是一蹴而就的事情，需要长时间的测试、验证。因此，积极备货、超量采购以及采取多供应商的策略成国内半导体企业应对政策变化的共同选择。

至纯科技表示，目前公司半导体设备产品的核心零部件主要依赖进口，公司在2019年超量采购，目前核心零部件库存充足。同时，公司已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作关系，能够有效应对美国贸易限制措施的升级。

国产刻蚀机供应商中微公司表示，公司建立了全面完整的供应商评价管理体系，公司主要零部件供应商数量较多且保持良好的合作关系，单一供应商采购金额占比不高，其中核心零部件的采购采取多厂商策略，分布在全球各地。公司会通过加强技术积累、选取多家供应商等方式，持续提高零部件供应链的稳定性。