光栅位移测量仪设计 光栅位移传感器测量原理

1 光栅位移传感器测量原理

将光源、两块长光栅（指示光栅和标尺光栅）、光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，在条纹移动的方向上放置光电探测器，可将光信号转换为电信号，这样就可以实现位移信号到电信号的转换。

本文针对输出正弦波的传感器进行了讨论，对于输出为正弦信号的光栅尺，需要对输出信号进行整形。光栅尺的输出信号经过整形后如图1所示。

将光栅尺输出的信号进行细分，然后辨向，再送入可逆计数器。由于2路信号周期同为T，相位相差90 °，光栅尺中的指示光栅每移动一个栅距，输出电信号就变化一个周期，如果能够把变化的周期数测量出来，就可以测出相对位移。

2 CPLD的选择

本设计中选择的CPLD（复杂可编程逻辑器件）是Altera公司的EPM 7128SLC84-15，它采用CMOS工艺，是一种基于EPROM的器件。该芯片有84个引脚，其中5个用于ISP（In System Programmable）下载，可以方便地对其进行在系统编程。此器件内集成了6 000门，其中典型可用门为2 500个，有128个逻辑单元，60个可用I/O口，可以单独配置为输入、输出及双向工作方式，2个全局时钟及1个全局使能端和1个全局清除端。EPM 7128SLC284-15支持多电压工作，其中15代表芯片的速度，该芯片传输延时为7.5 ns，最高工作频率为125 MHz，并支持多种编程方式。利用Altera公司的QuartusⅡ5.1软件可以方便地进行仿真、综合和下载。

3 系统实现

本系统中使用的光栅传感器输出的是4路相位差为90°的正弦信号，因此需要对传感器的输出信号进行整形处理。本设计中采用了由运放LM393构成的差分放大器，将光栅传感器输出的4路信号分别送入2个差分放大器的输入端，从差分放大器输出的2路信号其相位差为90°，整个系统框图如图2所示。

将差分后的信号进行整形得到2路方波信号，得到的方波信号不能直接送入计数器中，在本设计中由EPM 7128SIC84-15完成4细分、辨向、计数的功能，在QuartusⅡ5.1中采用原理图的输入方式将上述模块组合成一个软件系统。

3.1 数字滤波电路

通过多次实验发现，光栅传感器输出的信号虽然经过了前级电路的预处理，但光栅发生抖动或测头被冲击时，仍然会产生噪声信号，从而影响计数的准确性，降低整个测试系统的精度。为了消除噪声信号，在CPLD内部设计了一数字滤波电路模块米滤除抖动脉冲，防止计数器误计数。图3是数字滤波电路图。

该电路的基本原理是用触发器将输入的方波信号通过时钟clk的延迟来克服毛刺和噪声信号，延迟的时钟周期数与毛刺和噪声信号的脉冲宽度有关，需要通过多次实验合理选取。

图4是数字滤波电路的仿真波形图，从图中可以看出，当输入信号ina或inb出现毛刺时，经过数字滤波后，输出波形a和b中已看不到毛刺。在仿真过程中需要注意的足输入信号ina和inb与clk之间的频率设置，如果设置不合适，仿真将会失败。

3.2 细分辨向电路

光栅尺信号的细分与辨向足提高光栅尺测量精度的关键性一步，没计者需要综合考虑辨向与细分的复杂性。在辨向时，是对细分后的信号进行辨向，而不是在细分前进行辨向，否则不能提高测量精度。本测量系统中是先细分、后辨向。电路仿真波形如图5所示。

在波形图中：a、b信号足输入波形，clk是系统时钟;clr是系统复位信号;direcTIon是方向信号，通过该信号能够判断出光栅尺中指示光栅的移动方向，如果是高电平，则表示指示光栅作正向运动，反之则作反向运动;clkadd表示指示光栅正向运动时的细分信号;clksubb表示指示光栅反向运动时的细分信号;clkout信号是clkadd和clksubb相“与非”后的结果，该信号作为可逆计数器的时钟信号;当direcTIon为高电平时，叮逆计数器作加运算，当direcTIon为低电平时，可逆计数器作减运算。

3.3 计数电路

本系统中的计数器采用VHDL进行设计，输入信号定义为时钟信号和方向信号，输出信号定义为24位的计数结果。用VHDL实现的24位可逆计数器功能的原程序如下：

仿真波形如图6所示。

在波形图中：clk信号是上一级电路的clkout信号，作为可逆计数器的时钟;up_down是辨向信号，计数器的加运算和减运算由该信号控制，当up_down为高电平时计数器作加法，否则作减法。

3.4 译码驱动和显示电路

本系统中要正确显示测量结果，需要译码驱动和显示电路模块，泽码电路用于转换24位的计数结果;显示电路需要8个LED显示数据，其中1个LED为符号位。当正向运动时，符号位不显示符号，当反向运动时显示“-”号。

4 结束语

基于EPM 7128SLC84-15构成的位移测量系统具有分辨率高、误差小、电路结构简单、成本低等优点，完全能够满足实际测量的需要。由于采用的是CPLD设计，系统易于升级。