AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反应器

    AIXTRON公司表示，新的MOCVD反应器是基于经过市场验证的CRIUS II平台而开发的，可以保证高性能氮化镓（GaN）LED生产过程的无缝迁移。

    营销副总裁Rainer Beccard表示，降低制造成本是LED产业的一个关键问题，尤其在固态照明产品中。与MOCVD相关的制造成本中，反应器的产能仍然是影响制造成本的关键因素。

    据悉，CRIUS II-L经过生产验证，确认是目前世界上最大的MOCVD反应器。另外，CRIUS II-L反应器还针对2-8英寸晶圆的生产进行了优化设计，将大大提高生产力。