根据 《路透社》 的报导,日本光学大厂尼康 (Nikon)于24日表示,已对荷兰半导体设备大厂艾司摩尔 (ASML Holding NV) 和合作伙伴卡尔蔡司 (Carl Zeiss AG) 提起法律诉讼,并表示 ASML 及 Carl Zeiss 两家公司在未经 Nikon 的许可下将其微影 (lithography) 技术专利用于光刻机上,并运用在半导体制造业中。
报导进一步表示,世界第 8 大芯片设备制造商 Nikon 在 24 日指出,已经在荷兰、德国和日本针对生产半导体光刻机的荷兰厂商 ASML 和旗下光电供应商 Carl Zeiss 提起了专利侵权案件。Nikon 在一份声明中指出,ASML 和 Carl Zeiss 在没有得到许可的情况之下,采用了 Nikon 的专利技术,运用在 ASML 的光刻机中。而光刻机是用在全球的半导体制造业中先进制程不可缺少的设备,如此以进一步侵犯了 Nikon 的专利。Nikon 表示,正在寻求损害赔偿,并防止 ASML 和 Carl Zeiss 出售该技术。
目前在全球的半导体设备市场中,ASML 主导半导体光刻机的产品。根据惠誉评级 (Fitch Ratings) 在 2017 年 1 月份的一份研究报告中指出,这家荷兰公司在这样的高端的半导体设备中,占有 90% 的市场占有率。而根据 ASML 在 19 日所公布的 2017 年第 1 季财报显示,第 1 季营收净利达 19.4 亿欧元,毛利率为 47.6%,EUV 极紫外光微影系统的未出货订单则累积到 21 台,价值高达 23 亿欧元。而且预估 ASML 在 2017 第 2 季营收净利将落在 19 到 20 亿欧元之间,毛利率约为 43% 到 44%。
ASML 的总裁兼CEO Peter Wennink 对于 Nikon 所发起的诉讼表示,Nikon 所提起的诉讼不但不必要,还毫无根据。而且,这还将对于全球半导体产业造成不确定性。他进一步指出表示,ASML 已多次尝试与 Nikon 协商延长交叉许可协议。
Nikon 则表示,法律诉讼是在由美国退休法官于 2016 年底进行的调解未成之后所决定发起的。而根据 Nikon 的说法,提起诉讼的 3 项微影技术专利,ASML 和 Carl Zeiss 两家公司分别在 2004 年支付 Nikon 8,700万 美元和 5,800 万美元的授权金。授权期限在 2009 年到期,而 2014 年底其专利权的过渡期也到期之后,双方在 2016 年底经过调解协商延长交叉许可协议未成。
关键字:光刻机 ASML 微影技术
编辑:张依敏 引用地址:Nikon 状告ASML与伙伴Carl Zeiss侵权 半导体市场掀波澜
推荐阅读最新更新时间:2023-10-12 23:42
商务部:希望荷方在华为5G、EUV光刻机等问题上保持公平
据商务部网站,12月16日下午,商务部副部长、国际贸易谈判副代表俞建华与荷兰外交部外贸与发展合作大臣卡格以视频形式共同主持召开中荷经贸混委会第17次会议,就共同关心的中荷、中欧经贸合作议题深入交换意见。 俞建华表示,当前中国正在加快构建以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局,这将给中荷、中欧合作带来新机遇。面对新冠肺炎疫情冲击,中荷经贸合作展现出强大韧性,欢迎荷兰企业扩大对华贸易投资。中荷双方应继续坚持多边主义,积极推进全球贸易投资自由化便利化。中方愿在服务贸易、电子商务等领域扩大合作,同时希望荷方在华为5G、EUV光刻机等问题上秉持公平立场。中方将与荷方密切合作,落实好两国领导人共识,推动双边经贸合作再上一个新
[手机便携]
国内半导体产业链日趋完整,ASML计划向5家国内客户供货
EUV终于进入量产阶段,部分尖端芯片制造商计划在2018年或最迟2019年初采用。ASML总裁兼执行长Peter Wennink在2017年表示,“ EUV进入大量芯片制造的准备工作将进一步加快 ”。 ASML 2017年营收达到13.4亿美元,并在第四季额外接单10台EUV系统,目前ASML手中累积未出货的EUV设备订单高达28台。 ASML指出,随着该公司持续支持中国不断扩展的半导体产业,2016年半导体制造设备对中国的销售额增加了20%以上,除了出货在中国营运的外资晶圆厂,ASML还计划于2018年向5家中国本土客户供货。 EUV营收占比创新高,ArF-immersion仍是黄光设备市场规模最大宗产品 晶圆
[半导体设计/制造]
大族激光:激光类封测设备逐步获订单,光刻机项目进展
近日,大族激光发布投资者调研相关信息,该公司今年上半年的消费电子业务实现收入入11.97亿元,同比增长36.71%。随着5G换机进程的推进,消费电子行业进入新一轮创新周期,消费电子行业景气度和设备需求逐步回升,公司消费电子业务及产品订单保持稳定增长。 在PCB业务领域,大族激光上半年实现收入8.74亿元,同比大幅增长106.82%,5G技术带来高多层PCB通讯背板及HDI加工设备需求的快速增长,龙头产品机械钻孔机销量持续增长,多品类LDI设备、CO2激光钻孔设备及八倍密度/超大台面通用测试机等产品市占率快速上升。公司将通过进一步完善高端产品的性能,拓展高端市场,提升市场份额。目前来看,大客户下单仍比较积极,根据客户的扩产情况来看,
[手机便携]
一台阿斯麦光刻机售价1亿美元,为啥不卖给中国?
全球最大 芯片 光刻设备市场供货商阿斯麦(ASML)近日公布2017第二季财报:ASML第二季营收净额21亿欧元,毛利率为45%。在第二季新增8台EUV系统订单,让EUV光刻系统的未出货订单累积到27台,总值高达28亿欧元。公司现在年产12台,2018年将增加到24台,2019年达到年产40台的产能。 但就是这样单价超1亿美元的昂贵设备,他们却不卖给中国! 有网友说:全球就只有他家能生产的出来,没有人做的出来。而且还不卖给中国。中国出多少钱都不卖。毛利1000%都可以。这个是在芯片里面画电路的,都是几纳米,大概是头发丝的万分之一大小电路,你说牛B不。 到底是什么光刻设备这么牛,为什么又不能卖给中国呢? 什么是 光刻
[嵌入式]
ASML今年发货第一台高NA EUV光刻机:成本逼近30亿元
EUV光刻技术的推进相当困难,光刻机龙头ASML也是举步维艰,一点点改进。ASML宣布,将在今年底发货第一台支持高NA(数值孔径)的EUV极紫外光刻机,型号“Twinscan EXE:5000”。 NA数值孔径是光刻机光学系统的重要指标,直接决定了光刻的实际分辨率,以及最高能达到的工艺节点。 ASML现有最先进的EUV光刻机是NEX:3400C、NEX:3400D,NA只有0.33,对应的分辨率为13nm,可以生产金属间距在38-33nm之间的芯片。 但是,金属间距缩小到30nm以下之后,也就是对应的工艺节点超越5nm,这样的分辨率就不够了,只能使用EUV双重曝光和/或曝光成形(pattern shaping)技术来辅助,不但会大
[半导体设计/制造]
激光直写光刻机设备商江苏影速集成电路装备计划科创板IPO
科创板日报消息,江苏影速集成电路装备股份有限公司拟赴科创板IPO,中金公司任其辅导机构。该公司主要生产激光直写的光刻机设备,主要应用在PCB FPC HDI和集成电路掩膜板。 江苏影速成立于2014年8月,于2016年被认定为国家级高新技术企业。公司是国内专业的集成电路核心装备制造商及中国唯一能够制造半导体纳米级制版光刻设备的企业,其核心产品半导体制版光刻设备及激光直接成像设备(LDI)被广泛用于中电科集团、深南电路、明阳电路等集成电路、掩膜版、MEMS器件、高端PCB制造等行业标杆企业,填补了国内空白。
[手机便携]
ASML官网显示支持7nm高端DUV光刻机仍可出口
荷兰政府宣布了限制某些先进半导体设备出口的新规定,这些规定将于9月1日生效。具体而言,荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。ASML在其官网发表声明称,该公司未来出口其先进的浸润式DUV光刻系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续浸润式系统)时,将需要向荷兰政府申请出口许可证。而ASML强调,该公司的EUV系统的销售此前已经受到限制。 据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。 阿斯麦3月曾表示,预计2000i和2050i这两款产品会
[半导体设计/制造]
半导体设备巨擘ASML跃2周高
欧系外资直指,台积电 (2330)、三星电子(Samsung Electronics Co.)对先进制程竞赛白热化,对欧洲半导体设备业龙头艾司摩尔(ASML Holding NV)来说,将相当有利。 barron`s.com 9日报导( 见此 ),欧系外资9日发表研究报告指出,最近有谣言暗示,台积电可能推延了极紫外光(EUV)微影设备订单的交期,但根据实地调查,EUV的需求展望非但并未减弱、反之还有增温迹象,估计ASML明(2019)年的EUV产能,应能如期被抢订一空。 报告直指,台积电已在4月2日向ASML和日本半导体设备厂Lasertec下达了近10亿美元的订单,显示第一季订购的设备数量应有6-8台。三星则是对EUV态
[半导体设计/制造]