中微半导体与Veeco、SGL间的专利诉讼达成和解

美国维易科精密仪器有限公司（Veeco，以下简称“维易科”）、中微半导体设备（上海）有限公司（AMEC）（以下简称“中微”）和西格里碳素（SGL，以下简称“西格里”）于今日共同宣布，同意就三方之间的未决诉讼达成和解，并友好地解决所有的未决纷争，包括中微在福建高院针对维易科的诉讼和维易科在美国纽约东区地方法院针对西格里的诉讼。

维易科的董事长兼首席执行官约翰·皮勒就此事评述：“我高兴地报告大家，我们已经达成了一个共同商定的对现存知识产权纠纷的和解方案。这使我们的MOCVD业务恢复正常运营。”

中微董事长兼首席执行官尹志尧博士

中微董事长兼首席执行官尹志尧博士评述道：“竞争对手们基于全球客户的利益该如何解决好知识产权事宜，这次和解是一个很好的例证。”

作为和解内容的一部分，维易科、中微和西格里及它们的附属公司之间在全球范围内所有的法律行动（在法院的、在专利局的及其它）将会被撤诉或以其他方式撤回。因此，所有业务流程，包括销售、服务和进口都将继续进行。关于和解条款的细节不在此公布。

扩展阅读：中微半导体与Veeco的专利纠纷

中微半导体公司是国内顶尖水平的半导体设备公司，其创始人尹志尧曾经担任美国应用材料的公司副总裁（应用材料是半导体设备厂商龙头老大），主持过多型设备的研发，在美国工作时就持有86项专利。

在十多年前，尹志尧与三十多位在应用材料、科林等国际巨头有着20—30年半导体设备研发制造的经验的资深工程师一同回国，创立了中微半导体。目前，等离子刻蚀机和MOCVD设备都是中微半导体的主要产品。

尹志尧在接受央视采访时说的话

而这次与美国Veeco公司的专利纠纷出在MOCVD设备上。MOCVD指的是有机金属化学汽相淀积，LED制造中就广泛使用这种设备。此前，美国MOCVD设备巨头Veeco宣布，美国纽约东区地方法院同意Veeco一项禁令请求，禁止中微半导体设备的晶圆承载器供应商SGL向其供货。Veeco公司这么做的主要目的是通过断绝中微半导体的零件供应链来打击竞争对手。

之后，中微半导体不甘示弱发起反击，向福建高院正式起诉Veeco，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权，并主张上亿元侵权损害赔偿。

中微半导体表示：曾为其关键技术投入了大量的研发费用和知识产权保护并进行专利申请布局数年。之后，Veeco公司才随之应用相同技术解决方案；同时，Veeco公司是在中微申请该涉案专利之后，才提交相近的专利申请，并使用于其EPIK 700产品上，由此认为Veeco美国侵犯了中微的专利权。

作为回击，Veeco公司在上海对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求，不过，该请求被驳回，专利复审委确认中微专利为有效专利。