“KLA-Tencor 中国市场的订单数 2016 年至 2017 年增长了 3 倍。随着中国各地都在设立新的晶圆厂,这种遍地开花的态势给设备厂商带来了巨大的发展机会,但同时挑战也如影随形。”美国科磊公司(KLA-Tencor)资深客户合作副总裁及 CMO Oreste Donzella 在前不久举办的媒体沟通会上表示。
KLA-Tencor 资深客户合作副总裁及 CMO Oreste Donzella
据 Oreste Donzella 介绍,2017 年全球半导体设备业营收创历史记录,首次超过 400 亿美元,同比增长 27%,超过半导体行业的整体增长速度(约21%)。作为全球领先的工艺控制及良率管理解决方案的设备供应商,KLA-Tencor 十分看好未来中国半导体市场的发展。
中国将成为半导体行业发展的转折点
自半导体行业出现以来,其经历了四个主要发展阶段,即由军工和原始计算机带动的初创发展期、基于存储器和主机的快速发展期、基于 PC 的民用发展期以及基于消费电子的成熟期。整个产业经历了几次大的转折,第一次转折是从美国向日本转移;第二次是从日本向韩国、台湾转移。
而随着这几年中国半导体产业的迅猛发展,以及中国对于半导体行业的大力投资,很多人认为中国大陆将会成为半导体产业第三次转移的目的地。KLA-Tencor 总裁暨 CEO Rick Wallace 在前不久的 SEMICON China 开幕演讲上也认同了这个观点。
而 Oreste Donzella 认为,目前半导体有两个转折点:一是新的应用,比如说 5G、物联网、人工智能、AR/VR 和自动驾驶等等;二是中国,以目前中国半导体的发展态势,会对半导体整个业界将来的发展形成一个很大的转折点。
“我们判断半导体产业会成长,但没有想到成长速度这么快,我预计市场还会维持增长势头,目前看半导体行业发展前景,还是非常光明的。” Oreste Donzella 说道,“半导体项目在中国正遍地开花,从东北到深圳,从上海到重庆、成都,各地都在上新项目。KLA-Tencor 中国市场的订单数 2016 年至 2017 年增长了 3 倍。”
制程控制技术的趋势和挑战
随着中国各地都在设立新的晶圆厂,这种遍地开花的态势给设备厂商带来了巨大的发展机会,但同时挑战也如影随形。
挑战主要体现在什么方面呢?对此,Oreste Donzella 解释道,“目前半导体制程的步骤越来越多,从原来的几百步到目前的一两千步,又有超过十亿个的晶体管,超过一英里长的电线,都放在一个邮票大的晶圆上面;此外,半导体制程对精密度和正确性的要求也非常高,如果只检测最开始和最后是不现实的,在上千个最新的半导体制程步骤中间,必须要加入很多检测和量测的步骤,才可以确保在器件制造期间,不会出任何致命性的问题,导致最后产品的良率为零。”
而制程控制就是可以帮助生产商按照制程设计走,避免引起不必要的问题从而影响良率。Oreste Donzella表示:“制程控制其实很简单,就是帮助我们的客户维持他们的产品和设备,在制造过程中,能够完美地符合他们需要设计的标准 。”
制程控制可以分成两大部分:一个是检测;另一个是量测。检测就是找出制程上发生的任何缺陷;量测就是确定在量测上面,所有的步骤可以符合设计的标准。 “整个制程控制的精髓就是在三个阶段:研发、初级大量生产、最后大量生产帮助我们的客户,怎么样能够缩短研发的时间,提升最后生产的良率。” Oreste Donzella解释说。
KLA-Tencor 重点投入中国市场
“2017 年对科磊来说是一个超级大年,2018 年虽然难以维持类似增速,但仍将维持强势表现,尤其是大陆市场。” Oreste Donzella 表示。
作为制程控制这块的专家,KLA-Tencor 对于中国市场非常重视,投注了大量的精力和资源以帮助中国半导体成长。KLA-Tencor 中国总裁张智安先生表示,中国要发展半导体产业,市场、资金、人才和技术这四大要素缺一不可。
同时,张智安表示:“目前,中国半导体行业想要进一步发展,必须解决人才匮乏的问题。这是一个非常大的挑战,不仅是对于 KLA-Tencor,整个产业链的上下游都面临这一问题。KLA-Tencor 也在这块投入了很多 。”
此外,张智安补充道,KLA-Tencor 也已开始把研发转移到中国,为本地客户提供快速、便捷的服务。尤其在制程控制这块,KLA-Tencor 希望能帮助中国半导体行业加速成长。
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