日设备厂SAMCO赴硅谷扩大医疗技术投资

目前先进的医疗制药技术中，微流道晶片(microfluidic chip)在基因分析与新药研发中有着重要的地位，日本半导体设备厂SAMCO看好相关商机，决定研发可以高效率制造微流道晶片的技术，并投资扩大位于美国矽谷的研究所，希望以半导体技术跨足生医业界。

微流道晶片在目前的生医业界犹如物联网(IoT)中的感测器，可以让各种药物或材料在微流道中自动化合或分离，使得许多原本须人工操作的程序自动化，大幅提高研发与生产效率，且其制造技术与微机电系统(MEMS)有许多共通处，因此是半导体产业跨足生医业界的有力技术之一。

据日本经济新闻(Nikkei)网站报导，SAMCO现在积极开发的技术，是环烯烃聚合物(Cyclo Olefin Polymer：COP)的表面处理技术：COP的优点是光学性质佳，适合作为微流道晶片的流道材料，但其低亲水性与玻璃基板低黏着性，须以紫外线照射并加热加压处理，这会影响其光学性，且亲水性低对于基因药物流动也有不良影响。

而SAMCO发展的COP新处理技术，原本是用在电极氧化层还原的处理法，使用水蒸气的电浆表面处理技术，可以提高COP与玻璃基板表面的亲水性，可在常温环境下处理，有助于加速微流道晶片制造。

据日本富士Kimera总研(Fuji Kimera Research)调查，微流道晶片的市场规模在2019年将达291亿日圆(约2.72亿美元)，未来在各种疾病的快速筛检与预防医疗领域上，将有广泛的应用。

SAMCO现有的半导体设备中，有经过改良便能生产微流道晶片的设备，现在计划向医界推销这种改良设备，同时观察市场反应，考虑是否进一步开发微流道晶片专用制造设备。

在开发新设备前，SAMCO决定将原本设在美国加州Sunnyvale研究室，在2018年5月1日转移到同州Santa Clara，并将当地研究人员从现在的7人增为14~15人，增强包括COP制造技术在内的成膜技术，以利增强该厂在半导体及生医领域市场的竞争力。